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ICS 25.180.10 K 61 中华人民共和国国家标准 GB/T 10067.414—2018 电热和电磁处理装置基本技术条件 第414部分:工业宝石炉 Basic specification for electroheating and electromagnetic processing installations- Part 414:Industrial gem furnace 2019-01-01实施 2018-06-07发布 国家市场监督管理总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 10067.414—2018 目 次 前言 1 范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义 4 产品分类 设计和制造 5 6 性能要求 7 试验方法 8 检验规则 标志、包装、运输和贮存 6 10 订购与供货 GB/T 10067.414—2018 前言 GB/T10067《电热和电磁处理装置基本技术条件》分为以下部分: 第1部分:通用部分; 第2部分:电弧加热装置; 一第21部分:大型交流电弧炉; 第3部分:感应电热装置; 第31部分:中频无心感应炉; 一第32部分:电压型变频多台中频无心感应炉成套装置; 第33部分:工频无心感应熔铜炉; 第34部分:晶体管式高频感应加热装置: 第35部分:中频真空感应熔炼炉; 第4部分:间接电阻炉; 第41部分:网带式电阻加热机组; 第42部分:推送式电阻加热机组; 第43部分:强迫对流井式电阻炉; 第44部分:箱式电阻炉; 第45部分:真空淬火炉; 第46部分:罩式电阻炉; 第47部分:真空热处理和钎焊炉; 第48部分:台车式电阻炉; 第49部分:自然对流井式电阻炉; 第410部分:单晶炉; 第411部分:电热浴炉; 第412部分:箱式淬火炉; 第413部分:实验用电阻炉; 第414部分:工业宝石炉; 第415部分:多晶硅铸锭炉; 第5部分:高频介质加热设备; 第8部分:电渣重熔炉。 本部分为GB/T10067的第414部分。 本部分按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本部分由中国电器工业协会提出。 本部分由全国工业电热设备标准化技术委员会(SAC/TC121)归口。 本部分起草单位:江苏华盛天龙光电设备股份有限公司、哈尔滨奥瑞德光电技术股份有限公司、西 安电炉研究所有限公司、元亮科技有限公司、常州市乐萌压力容器有限公司、国家电炉质量监督检验中 心、江苏星特亮科技有限公司、中国电工技术学会电热专业委员会。 本部分主要起草人:李留臣、左洪波、余维江、柳祝平、潘燕萍、李琨、徐海波、束天和、袁芳兰、张永武、 周正星、炀。 Ⅲ GB/T10067.414—2018 电热和电磁处理装置基本技术条件 第414部分:工业宝石炉 1范围 GB/T10067的本部分规定了工业宝石炉的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、 运输和贮存及订购与供货。 本部分适用于高真空或在保护气氛低正压条件下采用不同长晶方法(如提拉法、泡生法、导模法、热 交换法、温度梯度法、埚下降法等)生长宝石晶体的工业宝石炉,其他工业宝石炉也可参照使用。 2规范性引用文件 2 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T150.1一2011压力容器第1部分:通用要求 GB/T2900.23—2008电工术语工业电热装置 GB3095—2012环境空气质量标准 GB5959.1一2005电热装置的安全第1部分:通用要求 GB8978—1996污水综合排放标准 GB/T10066.1一2004电热设备的试验方法第1部分:通用部分 GB/T10066.4一2004电热设备的试验方法第4部分:间接电阻炉 GB/T10067.1—2005电热装置基本技术条件第1部分:通用部分 GB/T10067.4一2005电热装置基本技术条件第4部分:间接电阻炉 GB/T10067.4102014电热装置基本技术条件第410部分:单晶炉 GB 12348—2008 工业企业厂界环境噪声排放标准 GB16297—1996 6大气污染物综合排放标准 JB/T 96911999 电热设备产品型号编制方法 3术语和定义 GB/T2900.232008、GB/T10067.4一2005、GB/T10067.410一2014界定的以及下列术语和定义 适用于本文件。 3.1 工业宝石炉 industrial gemfurnace 在高真空或在保护气氛低正压条件下采用不同长晶方法(如提拉法、泡生法、导模法、热交换法、温 度梯度法、埚下降法等)生长宝石晶体的工业电热设备。 3.2 提拉轴 pullershaft 用于固定籽晶实现晶体生长提拉及旋转,同时进行热量传输配合热场实现晶体生长所需温度梯度 1 GB/T10067.414—2018 的运动杆件。 3.3 埚轴 crucibleshaft 用于支撑璃实现晶体生长熔池液面旋转,同时进行热量传输配合热场实现晶体生长所需温度梯 度的运动杆件。 3.4 提拉法 czochralskimethod 宝石晶体的一种长晶方法,即原料被加热熔化至熔体后,通过固体籽晶末端与液面接触形成具有温 度差的固液界面,逐渐冷凝生长出与固体籽晶结构相同的晶体,固体籽晶通过提拉轴缓速旋转提拉上 升,实现固液界面上连续长晶 3.5 泡生法kyropoulosmethod 宝石晶体的一种长晶方法,即原料被加热熔化至熔体后,固体籽晶末端与液面接触,通过热交换器 实现熔体之间热量交换,生长出与固体籽晶结构相同的晶体,固体籽晶通过提拉轴缓速提拉上升形成晶 晶锭。 3.6 导模法edge-definedfilm-fedgrowth 宝石晶体的一种长晶方法,即原料被加热熔化至熔体后,将带有带毛细通道的金属模具(熔点高于 长晶。 3.7 热交换法heatexchangermethod 宝石晶体的一种长晶方法,即将底部中心安放固体籽晶的璃固定在热交换器上,通过控制热场使 固体籽晶被加热熔化时剩余一定固体,通过控制热交换器,使晶体生长区内产生下冷上热的温度梯度, 在底部籽晶引导下,生长出与籽晶结构相同的晶体 3.8 温度梯度法temperaturegradienttechnique 宝石晶体的一种长晶方法,即将底部中心安放固体籽晶的固定在水冷轴上,通过控制热场 使固体籽晶被加热熔化时剩余一定固体,通过控制加热功率,在籽晶周围产生具有一定温度梯度的热 场,实现晶体由下向上长晶 3.9 下降法 verticalgradientfreezemethod 宝石晶体的一种长晶方法,即通过加热器(分为上下两部份,上部温度高,下部温度低)产生温度梯 度,通过下降,使晶体生长固液界面与加热器位置相对固定,实现晶体长晶。 4产品分类 4.1型号参数 按照JB/T9691—1999,工业宝石炉型号参数及代号规定如下所示: 2

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