说明:收录25万 73个行业的国家标准 支持批量下载
ICS13.040.35 CCSC70 中华人民共和国国家标准 GB/T25915.13—2022/ISO14644-13:2017 洁净室及相关受控环境 第13部分:达到粒子和化学洁净度 要求的表面清洁 Cleanrooms and associated controlled environments-Part 13:Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemicalclassifications (ISO14644-13:2017,IDT) 2022-12-30发布 2023-07-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T 25915.13—2022/ISO14644-13:2017 目 次 前言 引言 范围 规范性引用文件 术语和定义 一般方法 对象描述 洁净度要求 初始污染水平的测定 清洁方法的选择 10 材料相容性检套 11 清洁验证 12 测量方法 13 记录 12 附录A(资料性) 清洁要素 13 附录B(资料性) 清洁方法 14 附录C(资料性) 材料与清洁剂的相容性 20 附录D(资料性) 洁净度测量 22 参考文献 26

.pdf文档 GB-T 25915.13-2022 洁净室及相关受控环境 第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁

文档预览
中文文档 30 页 50 下载 1000 浏览 0 评论 309 收藏 3.0分
温馨提示:本文档共30页,可预览 3 页,如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档
GB-T 25915.13-2022 洁净室及相关受控环境 第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁 第 1 页 GB-T 25915.13-2022 洁净室及相关受控环境 第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁 第 2 页 GB-T 25915.13-2022 洁净室及相关受控环境 第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁 第 3 页
下载文档到电脑,方便使用
本文档由 人生无常 于 2024-03-30 13:01:50上传分享
站内资源均来自网友分享或网络收集整理,若无意中侵犯到您的权利,敬请联系我们微信(点击查看客服),我们将及时删除相关资源。