GB-T 25915.2-2021 洁净室及相关受控环境 第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测

ICS 13.040.35 CCS C 70 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T25915.2—2021/ISO14644-2:2015 代替GB/T25915.2—2010 洁净室及相关受控环境第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测 Cleanrooms and associated controlled environments-Part 2:Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration (ISO14644-2:2015,IDT) 2021-08-20发布 2022-03-01实施国家市场监督管理总局发布国家标准化管理委员会 GB/T25915.2—2021/ISO14644-2:2015 目次前言引言范围 2规范性引用文件 3术语和定义 4监测计划的制定、执行及持续改进 5按粒子浓度定期划分空气洁净度附录A（资料性）制定监测计划考虑事项附录B（资料性）设定预警值和干预值的考虑事项参考文献 11

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