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ICS 13.040.35 C 70 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T25915.9—2018/ISO14644-9:2012 洁净室及相关受控环境 第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级 Cleanrooms and associated controlled environments- Part 9:Classification of surface cleanliness by particle concentration (ISO14644-9:2012,IDT) 2018-06-07发布 2018-10-01实施 国家市场监督管理总局 发布 中国国家标准化管理委员会
GB-T 25915.9-2018 洁净室及相关受控环境 第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级
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