说明:收录25万 73个行业的国家标准 支持批量下载
文库搜索
切换导航
首页
频道
批量下载
联系我们
问题反馈
投诉渠道
商务合作
注册会员
首页
批量下载
联系我们
问题反馈
投诉渠道
商务合作
注册会员
批量下载
ICS 71.040.40 G 04 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T36053—2018/ISO16413:2013 X射线反射法测量薄膜的厚度、 密度和界面宽度仪器要求、准直和定位、 数据采集、数据分析和报告 Evaluation of thickness,density and interface width of thin films by X-ray reflectometry-Instrumental requirements,alignment and positioning data collection,data analysis and reporting (ISO16413:2013,IDT) 2018-03-15发布 2019-02-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T36053—2018/ISO16413:2013 目 次 前言 引言 1 范围 2术语、定义、符号和缩略语 2.1术语和定义 2.2符号和缩略语 3仪器要求、准直和定位指南 3.1 扫描方法的仪器要求 3.2 仪器准直 3.3 样品准直 数据采集和存储 4.1 概述 4.2 数据扫描参数 4.3 动态范围 4.4 步长(峰定义) 4.5 采集时间(累计计数) 10 4.6 分段数据采集 10 4.7 降低噪声 4.8 探测器 4.9 环境 4.10 数据存储 5 数据分析· 5.1 初步数据处理 5.2 样品建模· 5.3 XRR数据模拟 5.4 一般举例…. 5.5 数据拟合 17 6XRR分析报告中的必要信息 18 6.1 概述 6.2 实验细节 18 6.3 分析(模拟和拟合)程序 18 6.4 报告XRR曲线的方法 19 附录A(资料性附录) 氮氧化硅晶圆测量报告示例 22 参考文献 26
GB-T 36053-2018 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告
文档预览
中文文档
34 页
50 下载
1000 浏览
0 评论
309 收藏
3.0分
赞助2元下载(无需注册)
温馨提示:本文档共34页,可预览 3 页,如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档
下载文档到电脑,方便使用
赞助2元下载
本文档由 人生无常 于
2024-03-30 15:58:23
上传分享
举报
下载
原文档
(5.2 MB)
分享
友情链接
GB-T 42720-2023 电子特气 六氯乙硅烷.pdf
T-CCTAS 24—2021 互联网货运平台安全运营规范.pdf
GB 16669-2010 二氧化碳灭火系统及部件通用技术条件.pdf
GB-T 35190-2017 海水中碘-131的测定 β计数法.pdf
GB-T 16814-2008 同步数字体系 (SDH) 光缆线路系统测试方法.pdf
GB-T 33540.3-2017 风力发电机组专用润滑剂 第3部分:变速箱齿轮油.pdf
GB-T 42292-2022 压水堆核电厂职业照射剂量评价.pdf
T-WAPIA 045.3—2021 信息技术 系统间远程通信和信息交换 原子密钥建立与实体鉴别 第3部分:采用证书的原子密钥建立与实体鉴别.pdf
GB-T 19960.1-2005 风力发电机组 第1部分:通用技术条件.pdf
GB-T 19557.5-2017 植物品种特异性、一致性和稳定性测试指南 大白菜.pdf
MZ-T 121-2018 护理床用桌子.pdf
GB-T 22025-2008 气雾剂级异丁烷 A-31.pdf
GB-T 4084-2018 自应力混凝土管.pdf
GB-T 42509-2023 质量管理 顾客体验管理指南.pdf
DB62-T 2779-2021 松落针病综合防治技术规程 甘肃省.pdf
SN-T 1306-2017 出入境人员预防接种或预防措施国际证书签发规程.pdf
GB-T 6297-2002 陶瓷原料差热分析方法.pdf
GB-T 2102-2022 钢管的验收、包装、标志和质量证明书.pdf
DB-T 64-2016 强震动观测技术规程.pdf
T-ZLDX 001—2023 中国老年大学 学校 “游学养”建设与 评价规范.pdf
1
/
3
34
评价文档
赞助2元 点击下载(5.2 MB)
回到顶部
×
微信扫码支付
2
元 自动下载
官方客服微信:siduwenku
支付 完成后 如未跳转 点击这里 下载
售后交流群
本文档由网友分享,版权归原作者,如有侵权请随时联系我们
站内资源均来自网友分享或网络收集整理,若无意中侵犯到您的权利,敬请联系我们
微信(点击查看客服)
,我们将及时删除相关资源。