(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202220816187.2 (22)申请日 2022.04.11 (73)专利权人 苏州市晶协高新电子材 料有限公 司 地址 215151 江苏省苏州市高新 技术产业 开发区浒关工业园内 (72)发明人 陆朝霞　黄清云　宋怡　 (74)专利代理 机构 苏州瞪羚知识产权代理事务 所(普通合伙) 32438 专利代理师 张宇 (51)Int.Cl. C02F 9/04(2006.01) C02F 1/44(2006.01) C02F 1/52(2006.01) C01B 7/19(2006.01)C02F 101/14(2006.01) (54)实用新型名称 一种含氟酸 性废液高效回用装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种含氟酸性废液高效 回用装置， 包括纳滤膜管的进液口与废液罐相 通， 纳滤膜管的产水口与回收液储罐相通， 纳滤 膜管的浓液出口与絮凝沉淀罐进液口相通， 絮凝 沉淀罐顶部设置有储药罐， 絮凝沉淀罐的进液口 处设置电磁阀， 储药罐与絮凝沉淀罐之间设置有 闸板阀， 絮凝沉淀罐上部设置有出水管， 出水管 上设置有三通阀， 三通阀一端与絮凝沉淀罐的进 液口相通， 絮凝沉淀罐的出水口与三通阀间设置 有水质监测器连接， 水质监测器通过控制器与三 通阀通信连接， 絮凝沉淀罐底部设置有污泥排放 口。 本实用可有效回收氢氟酸、 降低石灰的投加 量， 进而减少污泥产量， 大大降低企业的综合处 理成本， 实现节能环保。 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 CN 217077210 U 2022.07.29 CN 217077210 U 1.一种含氟酸性废液高效回用装置， 其特征在于： 包括纳滤膜管 （2） ， 所述纳滤膜管 （2） 的进液口与废液罐 （1） 相通， 所述纳滤膜管 （2） 的产水口与回收液储 罐 （8） 相通， 所述纳滤膜 管 （2） 的浓液出口与絮凝沉淀罐 （3） 进液口相通， 所述絮凝沉淀罐 （3） 顶部设置有储药罐 （4） ， 所述絮凝沉淀罐 （3） 的进液口处设置电磁阀， 所述储药罐 （4） 与絮凝沉淀罐 （3） 之间设 置有闸板阀， 所述絮凝沉淀罐 （3） 上部 设置有出水管， 所述出水管上设置有三通阀 （6） ， 所述 三通阀 （6） 一端与絮凝沉淀罐 （3） 的进液口相通， 所述絮凝沉淀罐 （3） 的出水口与三通阀 （6） 间设置有 水质监测器 （5） 连接， 所述水质监测器 （5） 通过控制器与所述三通阀 （6） 通信连接， 所述絮凝沉淀罐 （3） 底部设置有污泥排 放口 （7） 。 2.根据权利要求1所述的含氟酸性废液高效回用装置， 其特征在于： 所述纳滤膜管 （2） 与废液罐 （1） 间设置有管道过 滤器 （10） 。 3.根据权利要求2所述的含氟酸性废液高效回用装置， 其特征在于： 所述管道过滤器 （10） 与纳滤膜管 （2） 之间设置有精度为5 ‑10um的保安过 滤器 （11） 。 4.根据权利要求3所述的含氟酸性废液高效回用装置， 其特征在于： 所述保安过滤器 （11） 与所述纳滤膜管 （2） 之间设置有冷凝装置 （12） 。 5.根据权利要求4所述的含氟酸性废液高效回用装置， 其特征在于： 所述冷凝装置 （12） 为冷凝套管， 所述冷凝套管靠 近纳滤膜管 （2） 一侧为进水口。 6.根据权利要求1所述的含氟酸性废液高效回用装置， 其特征在于： 所述废液罐 （1） 出 液口设置有防腐增压泵 （9） 。 7.根据权利要求1所述的含氟酸性废液高效回用装置， 其特征在于： 所述纳滤膜管 （2） 设置多个， 所述多个纳滤膜管并联设置 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217077210 U 2一种含氟酸性废液高 效回用装 置 技术领域 [0001]本实用新型属于废水处 理技术领域， 具体涉及一种含氟酸 性废液高效回用装置 。 背景技术 [0002]随着半导体、 液晶行业的迅猛发展， 蚀刻 工艺大量使用氢氟酸溶液， 进而产生大量 的含氟酸性废液， 针对该废液传统的处理方式主要采用石灰中和 沉淀， 产生的含氟污泥只 能委外处 理， 而沉淀出 水也往往无法达标排 放， 大大增加企业的环保处 理成本。 [0003]现有处理方式采用扩散渗析的方式， 氢氟酸回收率较低， 且废液量不变， 后续少量 氢氟酸废水 无良好的处 理方式。 实用新型内容 [0004]针对上述现有技术， 本实用新型提供一种含氟酸性废液高效回用装置， 以解决现 有含氟酸 性废液处 理装置存在的氢氟酸回收率低、 废液量大、 处 理成本高的问题。 [0005]为了达到上述目的， 本实用新型 所采用的技 术方案是： 提供一种 [0006]本实用采取上述技术方案 的有益效果是： 包括纳滤膜管， 纳滤膜管的进液口与废 液罐相通， 纳滤膜管 的产水口与回收液储罐相通， 纳滤膜管 的浓液出 口与絮凝沉淀罐进液 口相通， 絮凝沉淀罐顶部 设置有储药罐， 絮凝沉淀罐的进液口处设置电磁阀， 储 药罐与絮凝 沉淀罐之 间设置有闸板阀， 絮凝沉淀罐上部 设置有出水管， 出水管上设置有三通阀， 三通阀 一端与絮凝沉淀罐的进液口相通， 絮凝沉淀罐的出水口与三通阀间设置有水质监测器连 接， 水质监测器通过控制器与三 通阀通信连接， 絮凝沉淀罐底部设置有污泥排 放口。 [0007]在上述技术方案的基础上， 本实用新型还可以做如下改进。 [0008]进一步， 纳滤膜管与废液 罐间设置有管道过 滤器。 [0009]再进一步， 管道过 滤器与纳滤膜管之间设置有精度为5 ‑10um的保安过 滤器。 [0010]再进一步， 保安过 滤器与纳滤膜管之间设置有冷凝装置 。 [0011]具体地， 冷凝装置为冷凝套管， 冷凝套管靠 近纳滤膜管一侧为进水口。 [0012]进一步， 废液罐出液口设置有防腐增压泵。 [0013]进一步， 纳滤膜管设置多个， 多个纳滤膜管并联设置 。 [0014]本实用新型的有益效果是： [0015]1、 本实用的装置通过管道过滤器、 保安过滤器去除杂质， 使其达到纳滤膜管的进 液标准， 再通过冷凝装置控制温度， 延长 了纳滤膜的使用寿命， 降低了成本 。 [0016]2、 经过初步处理的含氟酸性废液再进入纳滤膜管内， 通过特殊材质的纳滤膜对一 价氟离子进行回收再利用， 产水口含有氢氟酸等， 回收率高、 氢氟酸纯度高， 浓液出口含有 残余废液杂质及少量氟化物， 含氟酸性废液量大大降低。 设置多个并联的纳滤膜管可加大 处理量、 加快处 理速度。 [0017]3、 采用氟化钙晶种处理废液中残余的氟化物， 通过控制废液量与氯化钙用量， 提 高氯化钙的初始浓度， 生成氟化钙晶种， 通过增加沉淀 反应速率的方式进 行絮凝沉淀， 降低说　明　书 1/3 页 3 CN 217077210 U 3