(19)国家知识产权局 (12)发明 专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202210241676.4 (22)申请日 2022.03.11 (65)同一申请的已公布的文献号 申请公布号 CN 114602866 A (43)申请公布日 2022.06.10 (73)专利权人 重庆臻宝实业有限公司 地址 401326 重庆市九龙坡区西彭镇森迪 大道66号附72号 (72)发明人 李玉琼　陈立航　郑东日　朴永元　 杨佐东　 (74)专利代理 机构 重庆乐泰知识产权代理事务 所(普通合伙) 50221 专利代理师 郭泽培 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01)B08B 13/00(2006.01) (56)对比文件 CN 203540755 U,2014.04.16 CN 108452 965 A,2018.08.28 CN 2104743 63 U,2020.0 5.08 US 20152 90666 A1,2015.10.15 US 201617 7905 A1,2016.0 6.23 审查员 张素 (54)发明名称 一种带孔产品的高压清洗装置及其清洗方 法 (57)摘要 本发明公开了一种带孔产品的高压清洗装 置及其清洗方法， 属于液晶面板零部件生产技术 领域， 清洗装置包括装置本体、 均匀 间隔排布在 所述装置本体上的至少一列若干喷嘴， 所述喷嘴 包括混合喷头、 送液管、 送液喷头、 送气管、 送气 喷头， 旋转板上还固定有若干所述送液喷头， 所 述送液喷头与所述送液管连通， 所述送液喷头以 送气喷头为中心呈圆周均布在所述送气喷头的 外侧， 干燥气体和清洗液分别通过送气喷头和送 液喷头排出后混合， 再通过喷头混合后喷出。 本 发明清洗装置和方法， 洗净效果更好， 能够解决 因孔内残留药液清洗不净带来的ParticleIssue 的问题， 同时也可延长产品在客户端的使用寿 命。 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 CN 114602866 B 2022.12.16 CN 114602866 B 1.一种带孔产品的高压清洗装置， 其特征在于： 包括装置本体、 均匀间隔排布在所述装 置本体上的至少一列若干喷嘴， 所述喷嘴包括混合喷头、 送液管、 送液喷头、 送气管、 送气喷 头， 所述混合喷头固定连接至所述送液管 的一端， 所述送液管靠近混合喷头的一端内侧密 封转动设置有旋转板， 所述旋转板能够沿轴向转动， 所述送气管同轴连接至送液管的中心， 所述送气管的端部连通至所述送气喷头， 所述旋转板的中心 开设有与所述送气喷头转动配 合的中心 孔， 所述旋转板上还固定有若干所述送液喷头， 所述送液喷头与所述送液管连通， 所述送液喷头以送气喷头为中心呈圆周均布在所述送气喷头的外侧， 干燥气 体和清洗液分 别通过送气喷头和送液喷头排出后混合， 再通过喷头混合后喷出； 所述送气喷头的侧 壁上 开设有侧气孔， 所述旋转板的中心孔孔壁上开设有能够与所述侧气孔连通的斜孔， 所述斜 孔的倾斜方向相同且沿圆周方向均匀分布在中心 孔的孔壁上， 所述斜孔的末端连接有透气 孔， 所述透气孔延伸至旋转板的外端面； 所述送液管靠近送液喷头一端的内侧还设置有固 定板， 所述固定板的外端开设有与所述送液喷头对应的环槽， 所述送液喷头的端部能够在 所述环槽内滑动， 所述环槽的底部开设有若干通孔， 所述通孔能够与所述送液喷头连通； 所 述送液喷头内设置有L型的送液通道， 旋转板相对于固定板旋转， 清洗液能够通过通孔进入 送液通道内， 送液通道 能够将清洗液引导至送气喷头一侧； 所述混合喷头的内侧端面上开 设有第一卡齿， 与所述第一卡齿在所述旋转板的端面上开设有第二卡齿， 所述混合喷头与 所述送液管螺纹连接， 通过旋转所述混合喷头能够轴向调节混合喷头的位置， 所述第一卡 齿在轴向与第二卡齿结合后， 所述混合喷头能够将所述旋转板卡紧； 所述固定板的侧 面还 固定有把手， 所述送液管 的侧壁上还开设有供所述把手通过的开口槽， 通过控制所述把手 能将所述固定 板沿轴向转动一定角度。 2.根据权利要求1所述的带孔产品的高压清洗装置， 其特征在于： 所述混合喷头的内侧 开设有直线引导段和锥形扩散段， 所述锥形扩散段的内侧壁于 混合喷头的轴线之 间的倾斜 角度为0~10°。 3.一种带孔产品的高压清洗装置的清洗方法， 其特征在于： 采用如权利要求2所述的高 压清洗装置， 首先分别在送液管和送气管内通入清洗液和压缩空气， 压缩空气经过送气喷 头时同时驱动旋转板旋转， 清洗液能够通过通孔进入送液通道内， 送液通道将清洗液引导 至送气喷头一侧， 压缩空气在送气喷头处形成负压从而将清洗液从送液通道带出， 压缩空 气和清洗液在混合喷头进行混合后喷出， 经过混合喷头形成实心 圆锥形的水流形状， 同时 射出的水流角度为不大于10 °； 通过竖排一字型排列喷嘴， 通过设定好的程序， 沿横向和竖 向两个方向清洗产品； 在洗完一面后， 通过反转固定产品， 再清洗另一面； 每一面清洗6~10 次； 清洗完成后， 旋转混合喷头后 将所述旋转板卡紧， 调整把手的位置后让通孔与 送液通道 错开， 确保混合喷头中只出气体， 然后再对带孔产品进行干燥喷吹。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 114602866 B 2一种带孔产品的高压清洗装 置及其清洗方 法 技术领域 [0001]本发明属于液晶面板零部件生产技术领域， 具体涉及一种带孔产品的高压清洗装 置及其清洗方法。 背景技术 [0002]CVD工艺中使用的Diffuser产品的作用是让Plasma通过Diffuser产品上的通孔， 均匀的射到Glass表面上。 Dry  Etcher中的带孔产品有上部电极等， 以10.5G ‑Diffuser产品 为例， 该产品上有11万个左右的通孔。 产品在阳极氧化后， 孔内还会残留一些药液， 如果不 能洗净孔内残留药液的话， 产品干燥完上机测试时发生Particle  Issue的风险很大。 目前 行业内常用的清洗方法为用高压水枪人工冲洗， 但10.5G产品的平均尺 寸为3.5m*3.2m(长* 宽)， 加上高压水枪喷 嘴射出的水压不足(一般为小于 300bar)， 经常会发生洗不净的问题。 发明内容 [0003]有鉴于此， 本发明的目的在于提供一种带孔产品的高压清洗装置及其清洗方法， 洗净效果更好， 能够解决因孔内残留药液清洗不净带来的ParticleIssue的问题， 同时也可 延长产品在客户端的使用寿命。 [0004]为达到上述目的， 本发明提供如下技 术方案： [0005]本发明一种带孔产品的高压清洗装置， 包括装置本体、 均匀间隔排布在所述装置 本体上的至少一列若干喷嘴， 所述喷嘴包括混合喷头、 送液管、 送液喷头、 送气管、 送气喷 头， 所述混合喷头固定连接至所述送液管 的一端， 所述送液管靠近混合喷头的一端内侧密 封转动设置有旋转板， 所述旋转板能够沿轴向转动， 所述送气管同轴连接至送液管的中心， 所述送气管的端部连通至所述送气喷头， 所述旋转板的中心 开设有与所述送气喷头转动配 合的中心 孔， 所述旋转板上还固定有若干所述送液喷头， 所述送液喷头与所述送液管连通， 所述送液喷头以送气喷头为中心呈圆周均布在所述送气喷头的外侧， 干燥气 体和清洗液分 别通过送气喷头和送液喷头排出后混合， 再通过喷头混合后喷出。 [0006]进一步， 所述送气喷头 的侧壁上开设有侧气孔， 所述旋转板 的中心孔孔壁上开设 有能够与所述测气孔连通的斜孔， 所述斜孔的倾斜方向相同且沿圆周方向均匀分布在中心 孔的孔壁上， 所述 斜孔的末端连接有透气孔， 所述透气孔延伸至 旋转板的外端面。 [0007]进一步， 所述送液管靠近送液喷头一端的内侧还设置有固定板， 所述固定板 的外 端开设有与所述送液喷头对应的环槽， 所述送液喷头的端部能够在所述环槽内滑动， 所述 环槽的底部开设有 若干通孔， 所述通孔能够与所述送液喷头连通。 [0008]进一步， 所述送液喷头内设置有L型的送液通道， 旋转板相对于固定板旋转， 清洗 液能够通过通 孔进入送液通道内， 送液通道能够将清洗液引导至送气喷头一侧。 [0009]进一步， 所述混合喷头 的内侧端面上开设有第一卡齿， 与所述第一卡齿在所述旋 转板的端面上开设有第二卡齿， 所述混合喷头与所述送液管螺纹连接， 通过旋转所述混合 喷头能够轴向调节混合喷头的位置， 所述第一卡齿在轴向与第二卡齿结合后， 所述混合喷说　明　书 1/4 页 3 CN 114602866 B 3