(19)国家知识产权局 (12)发明 专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202210218015.X (22)申请日 2022.03.08 (65)同一申请的已公布的文献号 申请公布号 CN 114308424 A (43)申请公布日 2022.04.12 (73)专利权人 宁波润华全芯微电子设备有限公 司 地址 315400 浙江省宁波市余 姚市阳明街 道新桥村村委东首 (72)发明人 刘晓龙　朱松　李嘉东　 (74)专利代理 机构 浙江中桓凯通专利代理有限 公司 33376 专利代理师 李美宝 (51)Int.Cl. B05B 1/04(2006.01)B05B 15/68(2018.01) B08B 3/02(2006.01) H01L 21/67(2006.01) 审查员 吕佳梅 (54)发明名称 一种高压喷 嘴装置、 去胶单 元和去胶机 (57)摘要 本发明公开了一种高压喷嘴组件、 高压喷嘴 装置、 去胶单元和去胶机， 所述高压喷嘴组件， 由 狭缝状喷嘴和柱 状喷嘴组成， 所述狭缝状喷嘴包 括： 狭缝状开口段和与其连通的狭缝状喷腔段， 所述狭缝状开口段与所述狭缝状喷腔段位于所 述狭缝状喷嘴内； 所述狭缝状开口段的轴线与所 述狭缝状喷腔段的轴线呈倾斜状设置； 所述柱状 喷嘴包括； 柱状开口段和与其连通的柱状喷腔 段， 所述柱状开口段和所述柱状喷腔段位于所述 柱状喷嘴内， 所述柱状开口段的轴线与所述柱状 喷腔段的轴线平行设置； 其中， 所述狭缝状喷腔 段的轴线和所述柱状喷腔段的轴线平行设置。 本 发明解决晶圆上的胶和金属无法有效剥离的问 题。 权利要求书2页 说明书6页 附图9页 CN 114308424 B 2022.08.05 CN 114308424 B 1.一种高压喷嘴装置， 其特征在于， 包括： 高压喷嘴组件， 由狭缝状喷嘴和柱状喷嘴组 成； 所述狭缝状喷 嘴包括： 狭缝状开口段和与其连通的狭缝状喷腔段， 所述狭缝状开口段与所述狭缝状喷腔段位 于所述狭缝状喷嘴内； 所述狭缝状开口段的轴线与所述狭缝状喷腔段的轴线呈倾斜状设 置； 所述狭缝状 喷嘴朝向所述狭缝状开口段 的一侧设有凸起件； 其中所述凸起件包括相对 的两个平行面， 以及夹 设于两个所述平行面之 间的喷口槽， 所述喷口槽与所述平行面平行， 所述狭缝状开口段位于所述喷口槽内， 所述狭缝状开口段沿所述喷口槽的长度方向设置； 所述柱状喷 嘴包括； 柱状开口段和与其连通的柱状喷腔段， 所述柱状开口段和所述柱状喷腔段位于所述柱 状喷嘴内， 所述柱状开口段的轴线与所述柱状 喷腔段的轴线平行设置； 所述柱状 喷嘴朝向 所述柱状开口段的一侧设有圆形槽， 所述柱状开口段设于所述圆形槽中心； 其中， 所述狭缝状喷腔段的轴线和所述柱状喷腔段的轴线平行设置； 所述狭缝状开口 段的面积大于所述柱状开口段的面积； 所述狭缝状喷嘴包括内侧入口和外侧出口， 所述内侧入口设置在所述狭缝状喷腔段远 离所述狭缝状开口段的一侧， 所述外侧出口设置在所述狭缝状开口段远离所述狭缝状喷腔 段的一侧； 所述高压喷嘴组件还包括： 第一连接组件和第二连接组件， 第一导管和第二导管； 其 中， 所述第一连接组件用于连接所述第一导管与所述狭缝状 喷嘴； 所述第二连接组件用于 连接所述第二 导管与所述柱状喷 嘴； 所述第一连接组件包括第 一连接杆和第 一接头， 所述第 二连接组件包括第 二连接杆和 第二接头； 其中， 所述第一连接杆两端轴连接所述狭缝状喷嘴和所述第一接头， 所述第一接 头套设于所述第一导管的一端， 所述第二连接杆两端轴连接所述柱状喷嘴和所述第二接 头， 所述第二接 头套设于所述第二 导管的一端， 所述第一连接杆直径大于所述第二连接杆； 喷嘴固定件， 所述喷 嘴固定件连接所述高压喷 嘴组件； 扫描臂， 所述扫描臂轴连接所述喷 嘴固定件， 可旋转 地调整喷 嘴固定件的旋转角度； 旋转组件， 所述旋转组件连接所述扫描臂远离所述喷嘴固定件的一端， 所述旋转组件， 包括： 夹持件， 所述夹持件连接扫描臂远离所述喷嘴固定件的一端， 设有夹持空间以及连通 所述夹持空间的第一过孔； 旋转套筒， 所述旋转套筒的一端位于所述夹持空间内， 并设有对应所述第一过孔的第 二过孔， 所述旋转套 筒内设有旋转空间； 旋转轴， 所述旋转轴位于所述旋转空间内， 连接所述旋转套筒朝向所述夹持件的一端， 并设有对应所述第二过孔的第三过孔； 驱动组件， 所述驱动组件轴连接所述旋转组件； 其中， 所述驱动组件可以使所述旋转组件旋转和/或升降； 所述高压喷 嘴装置还 包括： 多个导管限位件， 互相间隔地套设于所述扫描臂； 其中， 每个所述导管限位件设有两个导管过孔； 所述第一导管至少穿过一个所述导管 限位件上的一个所述导管过孔； 和所述第二导管至少穿过一个所述导管限位件上的一个所权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114308424 B 2述导管过孔。 2.根据权利要求1所述的高压喷 嘴装置， 其特 征在于， 所述喷 嘴固定件， 包括： 第一固定孔， 所述第一固定孔套设于所述第一连接杆； 第二固定孔， 所述第二固定孔套设于所述第二连接杆。 3.一种去胶单元， 其特征在于， 所述去胶单元包括： 如权利要求1 ‑2所述的任意一种高 压喷嘴装置； 去胶腔体壳体， 所述去胶腔体壳体设有 去胶工作空间； 晶圆安装位， 所述晶圆安装位位于所述去胶工作空间内， 连接所述去胶腔体壳体的底 面； 其中， 所述高压喷嘴装置连接所述去胶腔体壳体的底面并位于所述晶圆安装位的一 侧， 所述高压喷 嘴装置能够将所述高压喷 嘴组件移动至所述晶圆安装位上。 4.一种去胶机， 其特 征在于， 所述去胶机设有如权利要求3所述的去胶单 元。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114308424 B 3