(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210213370.8 (22)申请日 2022.03.05 (71)申请人 江阴佳泰电子科技有限公司 地址 214000 江苏省无锡市江阴市临港新 城璜土镇迎宾东路3 3号 (72)发明人 季建松　 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)发明名称 电子晶圆检测用清洗装置 (57)摘要 本申请涉及一种电子晶圆检测用清洗装置， 涉及晶圆检测领域， 其包括基台， 基台上设有用 于晶圆安装的支撑组件， 基台上设有驱动晶圆转 动的转动组件， 基台上固定连接有支撑架， 支撑 架上设有用于清洗晶圆的喷淋组件， 喷淋组件包 括固定连接在支撑架上的固定盘、 滑动连接在固 定盘上的滑 块和连接在滑块上的喷嘴， 支撑架上 设有驱动滑 块沿晶圆半径方向滑动的驱动组件。 本申请具有提高对晶圆清洗的均匀性和彻底性， 从而提高晶圆后续测验数据的准确性的效果。 权利要求书2页 说明书4页 附图6页 CN 114570696 A 2022.06.03 CN 114570696 A 1.一种电子晶圆检测用清洗装置， 包括基台(1)， 其特征在于： 所述基台(1)上设有用于 晶圆安装的支撑组件(2)， 所述基台(1)上设有驱动晶圆转动的转动组件(5)， 所述基台(1) 上固定连接有支撑架(13)， 所述支撑架(13)上设有用于清洗晶圆的喷淋组件(3)， 所述喷淋 组件(3)包括固定连接在所述支撑架(13)上的固定盘(31)、 滑动连接在所述固定盘(31)上 的滑块(32)和连接在所述滑块(32)上的喷嘴(33)， 所述支撑架(13)上设有驱动所述滑块 (32)沿晶圆半径方向滑动的驱动组件(4)。 2.根据权利要求1所述的电子晶圆检测用清洗装置， 其特征在于： 所述滑块(32)沿晶圆 圆周方向至少设置有一个， 所述 驱动组件(4)包括滑动连接在支撑架(13)上的滑杆(4 1)、 固 定连接在滑杆(41)端部的铰接杆(42)、 固定连接在支撑架(13)上的第一电机(43)、 连接在 第一电机(43)输出端的斜齿轮(44)和固定连接在滑杆(41)侧壁上的斜齿条(45)， 所述斜齿 轮(44)与所述斜齿条(45)啮合， 所述铰接杆(42)背离所述滑杆(41)一端与所述滑块(32)铰 接。 3.根据权利要求1所述的电子晶圆检测用清洗装置， 其特征在于： 所述滑块(32)成对存 在， 所述驱动组件(4)包括固定连接在支撑架(13)上的第二电机(46)、 转动连接在固定盘 (31)上的驱动块(47)和铰接在驱动块(47)两端的两个连杆(48)， 所述第二电机(46)的输出 端与所述 驱动块(47)连接， 两个所述连杆(48)背离所述 驱动块(47)的一端分别连接一对滑 块(32)中的其中一个。 4.根据权利要求3所述的电子晶圆检测用清洗装置， 其特征在于： 所述驱动块(47)沿第 二电机(46)的输出轴方向设置至少一个， 所述驱动块(47)数量大于两个时， 相邻两个所述 驱动块(47)之间通过 连接轴(49)固定连接 。 5.根据权利要求1所述的电子晶圆检测用清洗装置， 其特征在于： 所述固定盘(31)上开 设有通槽(311)， 所述滑块(32)滑动连接在所述通槽(311)内， 所述通槽(311)上开设有限位 槽(312)， 所述滑块(32)上固定连接有限位块(321)， 所述限位块(321)滑动连接在所述限位 槽(312)内上。 6.根据权利要求1所述的 电子晶圆检测用清洗装置， 其特征在于： 所述支撑组件(2)包 括转动连接在基台(1)上的放置台(21)和位于放置台(21)内的吸盘(22)， 所述放置台(21) 上开设有用于晶圆放置的放置 槽(211)， 所述吸盘(2 2)位于所述 放置槽(211)内。 7.根据权利要求6所述的电子晶圆检测用清洗装置， 其特征在于： 所述放置槽(211)内 部开设有导流槽(212)， 所述导流槽(212)沿所述放置槽(211)周向设置， 所述所述放置台 (21)上开设有导流口(213)， 所述导流槽(212)与所述导流口(213)连通， 所述基台(1)上开 设有容纳槽(11)， 所述容纳槽(11)位于所述导流口(213)下方， 所述容纳槽(11)呈圆环形设 置， 所述容纳槽(1 1)内设有排液口(12)。 8.根据权利要求6所述的 电子晶圆检测用清洗装置， 其特征在于： 所述转动组件(5)包 括连接在基台(1)下方的驱动电机(51)、 连接在驱动电机(51)输出端的驱动管套(52)和固 定连接在所述放置台(21)上的驱动轴(53)， 所述驱动轴(53)插接在所述驱动 管套(52)内， 所述驱动管套(52)内固定连接有内齿套(521)， 所述驱动轴(53)上固定套设有外齿套 (531)， 所述内齿 套(521)与所述外齿 套(531)啮合。 9.根据权利要求8所述的 电子晶圆检测用清洗装置， 其特征在于： 所述基台(1)底部设 有减速组件(6)， 所述减速组件(6)包括固定连接在基台(1)底部的气缸(61)和连接在气缸权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114570696 A 2(61)输出端的移动板(62)， 所述驱动电机(51)固定连接在所述移动板(62)上。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114570696 A 3