(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210206956.1 (22)申请日 2022.03.03 (71)申请人 上海富乐德智能科技发展 有限公司 地址 200444 上海市宝山区山连路181号10 幢 (72)发明人 杨炜　贺贤汉　蒋立峰　许俊　 (74)专利代理 机构 上海申浩 律师事务所 31280 专利代理师 陆叶 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) B08B 3/02(2006.01) B08B 3/10(2006.01) B08B 3/08(2006.01) B08B 3/12(2006.01) B24C 1/08(2006.01)F26B 21/00(2006.01) F26B 21/14(2006.01) (54)发明名称 一种半导体用ETCH设备中Bell jar的再生 方法 (57)摘要 本发明公开了一种半导体用ETCH设备中 belljar的再生方法， 包括硝氟酸浸泡： 将待再生 的belljar用3M胶带保护密封面， 用硝酸与氟酸 的混合液进行去膜； 用湿式喷砂机对belljar内 表面进行喷砂处理； 用尼龙刷对belljar内表面 进行打磨处理； 用温水进行浸泡； 打磨过的 belljar内表面进行高压水清洗； 将部件搬运至 100级无尘室进行超声波清洗， 而后采用超纯水 冲洗， 最后用氮气吹干。 干燥： 吹干后的部件放至 无尘烘箱内进行加热干燥。 有些工序是需要反复 多次的。 通过该再生方法， 实现belljar的重复稳 定利用。 权利要求书2页 说明书4页 CN 114664699 A 2022.06.24 CN 114664699 A 1.一种半导体用ETC H设备中Bel l jar的再生方法， 其特 征在于： 具体步骤如下： 步骤一、 第一次硝氟酸浸泡； 将待再生的belljar部件用胶 带保护密封面， 然后将belljar部件内表面朝上外表面朝 下放置在固定平台上， 之后将18％的氢氟酸和23％的硝酸混合液倒入belljar部件内进行 浸泡20‑30分钟； 步骤二、 湿式喷砂； 用湿式喷砂机和白刚玉对bel ljar部件进行喷砂作业； 步骤三、 第一次打磨； 用尼龙刷对belljar部件内表面进行整体打磨刷洗， 并避免尼龙刷本体塑料碰到部件 内壁； 步骤四、 第一次高压水洗； 步骤五、 第二次硝氟酸浸泡； 首先确认belljar部件 的密封面上的胶带仍然完好， 然后将部件整体放入用18％的氢 氟酸和23％的硝酸混合液中， 浸泡1 ‑2分钟； 步骤六、 第二次打磨； 用尼龙刷对belljar部件内表面进行整体打磨刷洗， 并避免尼龙刷本体塑料碰到部件 内壁； 步骤七、 第二次高压水洗； 步骤八、 温水浸泡； 步骤九、 第三次打磨； 用尼龙刷对belljar部件内表面进行整体打磨刷洗， 并避免尼龙刷本体塑料碰到部件 内壁； 步骤十、 第三次高压水洗； 步骤十一、 第一次干燥； 步骤十二、 超声 波清洗； 将belljar部件搬运至100级无尘室进行超声波清洗， 然后采用超纯水冲洗1min， 最后 用氮气吹干； 步骤十三、 第二次干燥； 将吹干后的部件放至无尘烘箱内进行加热干燥， 烘箱温度设定为140 ‑160℃， 恒温时间 设定为10 0‑140min， 程序结束后在40℃以下开烘 箱进行无尘包装。 2.根据权利 要求1所述的一种半导体用ETCH设备中B ell jar的再生方法， 其特征在于： 步骤二中， 湿式喷砂压力设定2 ‑3kg/cm2,砂材型号60目， 部件与喷砂枪的距离在10 ‑20cm之 间， 部件与喷砂枪的角度在45 ‑90°之间。 3.根据权利 要求1所述的一种半导体用ETCH设备中B ell jar的再生方法， 其特征在于： 步骤三、 步骤六和步骤九中用尼龙刷对bel ljar部件内表面进行整体打磨刷洗1 ‑3分钟。 4.根据权利 要求1所述的一种半导体用ETCH设备中B ell jar的再生方法， 其特征在于： 步骤四、 步骤七和步骤十的高压水洗具体如下： 用高压水枪对Bell  jar部件内部进 行冲洗， 时间1‑2分钟， 压力10 0psi。 5.根据权利 要求1所述的一种半导体用ETCH设备中B ell jar的再生方法， 其特征在于：权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114664699 A 2步骤八温水浸泡具体如下： 用90 ±5℃的温水浸泡5 0‑70分钟， 去除部件表面的残酸。 6.根据权利 要求1所述的一种半导体用ETCH设备中B ell jar的再生方法， 其特征在于： 步骤十一第一次干燥具体如下： 用气枪 把部件表面水分吹干 。 7.根据权利 要求1所述的一种半导体用ETCH设备中B ell jar的再生方法， 其特征在于： 步骤十二、 超声波清洗具体如下： 将belljar部件 搬运至100级无尘室进 行超声波清洗， 超声 波频率为40～80KHz， 超声波清洗时间为25 ‑35min， 然后采用超纯水冲洗1 ‑2min， 最后用氮 气吹干。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114664699 A 3