(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 20221019149 9.3 (22)申请日 2022.02.28 (71)申请人 李贵宾 地址 518000 广东省深圳市龙岗区龙新大 道水岸新都20号楼 2502 (72)发明人 李贵宾　 (74)专利代理 机构 北京京专专利代理事务所 (普通合伙) 11908 专利代理师 方明 (51)Int.Cl. B08B 7/00(2006.01) B08B 3/02(2006.01) B08B 3/12(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 一种环保型复合材料烫金硅胶板清洗设备 及使用方法 (57)摘要 本发明公开了一种环保型复合材料烫金硅 胶板清洗设备及使用方法， 涉及环保型复合材料 硅胶板技术领域， 其技术方案要点包括负压气相 HF容纳罐、 陶瓷管容纳罐、 清洗罐、 清水罐与高频 超声波发生器， 所述高频超声波发生器安装在清 洗罐的内部， 所述负压气相HF容纳罐、 陶瓷管容 纳罐与清洗罐之间均连通有管道， 所述清水罐与 清洗罐之间连通有进水管与循环管， 所述进水 管、 循环管与两个管道上均设置有电控阀门。 该 发明通过HF挥发成雾清洗去除硅胶板表面的自 然氧化膜， 陶瓷管微波放电产生活性基去除氧化 硅， 最后高频超声波通过水流传送出去对硅胶板 进行冲洗， 清洗效果得到明显的提高， 保证了清 洗效果并且 减少了对环境的污 。 权利要求书2页 说明书5页 附图3页 CN 114535220 A 2022.05.27 CN 114535220 A 1.一种环保型复合材料烫金硅胶板清洗设备， 其特征在于， 包括负压气相HF容纳罐 (1)、 陶瓷管容纳罐(2)、 清洗罐(3)、 清水罐(4)与高频超声波发生器(5)， 所述高频超声波发 生器(5)安装在清洗罐(3)的内部， 所述负压气相HF容纳罐(1)、 陶瓷管容纳罐(2)与清洗罐 (3)之间均连通有管道(6)， 所述清水罐(4)与清洗罐(3)之间连通有进水管(7)与循环管 (8)， 所述进水 管(7)、 循环管(8)与两个管道(6)上均设置有电控阀门； 所述负压气相HF容纳罐(1)用于向清洗罐(3)提供HF气体去除氧化物； 所述陶瓷管容纳罐(2)用于微波放电产生活性基去除氧化硅； 所述清水 罐(4)用于提供清水配合高频超声 波发生器(5)对硅胶板进行冲洗； 所述清洗罐(3)包括有罐体(31)与盖体(32)， 所述盖体(32)位于罐体(31)的顶部用于 罐体(31)的密封， 所述高频超声波发生器(5)安装在盖体(32)的内壁上， 所述进水管(7)远 离清水罐(4)的一端贯穿盖体(32)并延伸至罐体(31)的内部， 且套接有冲洗喷头(33)， 所述 循环管(8)远离清水 罐(4)的一端贯 穿并延伸至罐体(31)内部的下 方。 2.根据权利要求1所述的环保型复合材料烫金硅胶板清洗设备， 其特征在于， 所述罐体 (31)的内部固定连接有固定板(34)， 所述固定板(34)与罐体(31)的内壁之间形成气体空 间， 两个所述管道(6)与清洗罐(3)连通的位置均位于气体空间内， 所述固定板(34)的内侧 开设有均匀分布的喷孔(3 5)。 3.根据权利要求2所述的环保型复合材料烫金硅胶板清洗设备， 其特征在于， 罐体(31) 的底部固定安装有步进电机(36)， 所述步进电机(36)的输出轴延伸至罐体(31)的内部且固 定连接有置物盘(37)， 所述置物盘(37)的顶部固定连接有呈圆周分布的挡杆(38)。 4.根据权利要求1所述的环保型复合材料烫金硅胶板清洗设备， 其特征在于， 所述清水 罐(4)的内底壁与内侧壁分别固定安装有提升泵(41)和循环泵(42)， 所述提升泵(41)和循 环泵(42)分别与进水 管(7)和循环管(8)连通。 5.根据权利要求1所述的环保型复合材料烫金硅胶板清洗设备， 其特征在于， 所述盖体 (32)的底部开设有环形槽(39)， 所述罐体(31)的顶部固定连接有与环形槽(39)卡合的密封 圈(310)， 所述环形槽(39)与密封圈(310)的横截面呈W形状。 6.根据权利要求2所述的环保型复合材料烫金硅胶板清洗设备， 其特征在于， 所述循环 管(8)上安装有过 滤器(9)， 所述过 滤器(9)的两端通过 水管接头与循环管(8)可拆卸安装。 7.根据权利要求2所述的环保型复合材料烫金硅胶板清洗设备， 其特征在于， 所述负压 气相HF容纳罐(1)的正 面设置有观察窗， 所述固定 板(34)为透明材 料构件。 8.基于权利要求1 ‑7任一项所述的环保型复合材料烫金硅胶板清洗设备的使用方法， 其特征在于， 该使用方法包括以下步骤： 步骤(A)是对于设备的基本安装操作， 其 步骤包括： (Aa)将负压气相HF容纳罐(1)、 陶瓷管容纳罐(2)分别通过管道(6)与罐体(31)连通， 进 水管(7)的两端分别与提升泵(41)和冲洗喷头(33)连通， 循环管(8)的两端分别与循环泵 (42)和盖体(32)连通； (Ab)将硅胶板放入罐体(31)内部的置物盘(37)上， 并将盖体(32)盖在罐体(31)的顶部 进行密封， 密封圈(310)与环形槽(39)配合对盖体(32)和罐体(31)的连接起到密封作用， 防 止泄露； 步骤(B)是对于 硅胶板表面氧化物除去的操作， 其 步骤包括：权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114535220 A 2(Ba)驱动步进电机(36)工作带动置物盘(37)转动， 使硅胶板旋转， 开启负压气相HF容 纳罐(1)与清洗罐(3)之间连通的管道(6)上的电磁阀门， 其余阀门关闭， 在负压气相HF容纳 罐(1)负压下使HF挥发成雾并进入固定板(34)与罐体(31)的内壁之间形成气体空间， 随后 由于喷孔(35)均匀喷出， 配合旋转的硅胶板， HF清洗均匀且充分， 清洗去除表 面的自然氧化 膜， 因此附着在自然氧化膜上的金属和颗粒随之脱落， 氧化物被转变为水溶性残余物， 被水 溶性去除， 绕开了颗粒清除过程， 提高了效率， 同时HF清洗还可抑制自然氧化膜的形成， 故 可容易去除表面的Al、 F e、 Zn、 Ni等金属； (Ba)重复操作步骤Ba， 采用两次负压使HF挥发成雾进行清洗， 两次负压过程的挥 发， 可 用于清洗较深的结构图形， 如对硅胶板沟槽的清洗； 步骤(C)是对于 硅胶板表面氧化硅去除的操作， 其 步骤包括： (Ca)开启陶瓷管容纳罐(2)与清洗罐(3)之间连通的管道(6)上的电磁阀门， 其余阀门 关闭， 通过陶瓷管容纳罐(2)中的陶瓷管微波放电产生活性基， 进入固定板(34)与罐体(31) 的内壁之间形成气体空间， 随后由于喷孔(35)均匀喷出， 配合旋转的硅胶板， 增强工艺的均 匀性， 去除硅胶板上的氧化硅； 步骤(D)是对于 硅胶板最后的冲洗操作， 其 步骤包括： (Da)开启进水管(7)于循环管(8)上的电磁阀门， 其余阀门关闭， 通过提升泵(41)将清 水罐(4)内的清水抽出， 清水通过进水 管(7)并由冲洗喷头(3 3)喷出， 对硅胶板进行冲洗； (Db)高频超声波发生器(5)通电工作， 将高频超声波通过水流传送出去， 被清洗的硅胶 板接触带有高频超声 波的水流而达 到清洁处 理的目的。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114535220 A 3