(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211156181.8 (22)申请日 2022.09.22 (71)申请人 深圳市卓兴 半导体科技有限公司 地址 518000 广东省深圳市宝安区石岩街 道应人石 社区文川路友晟纸业旁厂房 一层 (72)发明人 张维伦　陈邹维　曾逸　 (51)Int.Cl. H01L 33/00(2010.01) H01L 21/67(2006.01) H01L 21/683(2006.01) G01B 11/26(2006.01) H03H 3/02(2006.01) H04N 5/225(2006.01) H04N 5/232(2006.01) (54)发明名称 一种像素固晶机 (57)摘要 本发明属于半导体生产设备技术领域， 具体 涉及一种像素固晶机， 该像素固晶机包括下底 板， 所述下底板的上端固定有邦头板， 所述邦头 板的上端装配有转塔， 且所述转塔的输出端延伸 至邦头板的下端， 所述转塔的下端固定有多工位 转盘， 所述多工位转盘在转塔的驱动下做单向圆 周运动， 所述多工位转盘的外侧环形分布有多个 垂向滑台组件。 本发明能够一次完成一个 （或多 个） 像素R、 G、 B晶圆的拾取， 缩减了固晶路径和单 次固晶时间， 同时， 通过图像采集元件能够对吸 嘴下端的晶圆旋转角度、 吸嘴下端的清洁度、 晶 圆损伤以及晶圆遗漏等情况进行检测， 当晶圆角 度存在偏 差时， 通过旋转电机能够对晶圆的偏转 角度进行校正， 提高了固晶 的良品率。 权利要求书2页 说明书8页 附图10页 CN 115249758 A 2022.10.28 CN 115249758 A 1.一种像素固晶机， 包括下底板 （10） ， 其特征在于： 所述下底板 （10） 的上端固定有邦头 板 （11） ， 所述邦头板 （11） 的上端装配有转塔 （20） ， 且所述转塔 （20） 的输出端延伸至邦头板 （11） 的下端， 所述转塔 （20） 的下端固定有多工位转盘 （21） ， 所述多工位转盘 （21） 在转塔 （20） 的驱动下做单向圆周运动， 所述多工位转盘 （21） 的外侧环形分布有多个垂向滑台组件 （22） ， 还包括： 晶圆拾取校正组件 （30） ， 所述晶圆拾取校正组件 （30） 装配于垂 向滑台组件 （22） 上， 所 述晶圆拾取校正组件 （30） 的内部开设有真空气道， 所述垂向滑台组件 （22） 能够带动晶圆拾 取校正组件 （3 0） 在垂直方向上移动； 吸嘴 （12） ， 所述吸嘴 （12） 装配于晶圆拾取校正组件 （30） 的内部， 所述吸嘴 （12） 的内部 开设有多条吸附气道； 拾取气路， 所述拾取气路由吸附气道和真空气道组合而成， 所述吸嘴 （12） 通过拾取气 路能够依次拾取晶圆， 完成像素R、 G、 B晶圆的拾取； 图像采集组件 （40） ， 所述图像采集组件 （40） 装配于下底板 （10） 的上， 所述图像采集组 件 （40） 能够对R、 G、 B晶圆的旋转角度进行检测； 其中， 所述R、 G、 B晶圆 能够跟随吸 嘴 （12） 同步 转动以调整R、 G、 B晶圆的旋转角度。 2.根据权利要求1所述的一种像素固晶机， 其特征在于： 所述晶圆拾取校正组件 （30） 包 括旋转电机 （31） 、 真空座 （32） 、 轴向固定套 （33） 和限位螺母 （34） ， 所述旋转电机 （31） 装配于 垂向滑台组件 （22） 上， 所述旋转电机 （31） 的内部设置有输出轴杆 （35） ， 且所述输出轴杆 （35） 的两端均延伸至旋转电机 （31） 外部， 所述真空座 （32） 固定于旋转电机 （31） 的上端， 且 所述真空气道 贯穿输出轴杆 （35） 以及真空座 （32） 内部， 所述轴向固定套 （33） 固定于输出轴 杆 （35） 外侧的下端， 所述吸嘴 （12） 套结于轴向固定套 （33） 的内部， 且所述吸嘴 （12） 的上端 和输出轴杆 （35） 的下端相贴合， 所述限位螺母 （34） 螺纹连接于轴向固定套 （33） 的下端， 且 所述限位螺母 （34） 能够对吸 嘴 （12） 形成限位。 3.根据权利要求1所述的一种像素固晶机， 其特征在于： 所述图像采集组件 （40） 包括底 座 （41） 、 横向调节板 （42） 、 纵向调节板 （43） 、 位移滑台组件 （44） 和图像采集元件 （45） ， 所述 底座 （41） 固定于下底板 （10） 的上端， 所述横向调节板 （42） 滑动连接于底座 （41） 的上端， 所 述纵向调节板 （43） 滑动连接横向调节板 （42） 的上端， 所述位移滑台组件 （44） 装配于纵向调 节板 （43） 的一侧， 所述图像采集元件 （45） 固定 于位移滑台组件 （4 4） 的一侧。 4.根据权利要求1所述的一种像素固晶机， 其特征在于： 还包括基板夹持组件 （60） 、 多 个晶圆供给组件 （70） 和多个图像定位组件 （8 0） ， 所述基板夹持组件 （60） 和多个晶圆供给组 件 （70） 均装配于下底板 （10） 上， 且所述晶圆供给组件 （70） 和图像采集组件 （40） 一一对应， 多个所述图像定位组件 （80） 均装配于邦头板 （11） 上， 多个所述图像定位组件 （80） 和多个晶 圆供给组件 （70） 以及图像定位组件 （80） 和基板夹持组件 （60） 之间均一一对应， 且 所述基板 夹持组件 （60） 和下底板 （10） 以及晶圆供给组件 （70） 和下底板 （10） 之间均装配有十字工作 台， 通过所述十字工作台能够在水平方向调节基板夹持组件 （60） 和晶圆供给组件 （70） 的位 置。 5.据权利要求1所述的一种像素固晶机， 其特征在于： 所述吸嘴 （12） 通过拾取气路能够 依次拾取晶圆， 完成一组像素R、 G、 B晶圆的拾取。 6.据权利要求1所述的一种像素固晶机， 其特征在于： 所述吸嘴 （12） 通过拾取气路能够权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115249758 A 2依次拾取晶圆， 完成多组像素R、 G、 B晶圆的拾取。 7.据权利要求1所述的一种像素固晶机， 其特征在于： 所述吸嘴 （12） 通过拾取气路能够 依次拾取晶圆， 完成任意多个 像素R、 G、 B晶圆的拾取。 8.一种控制终端， 适用于权利要求1 ‑7中任意一项所述的一种像素固晶机， 其特征在 于： 包括通过系统总线 连接的处理单元、 存储单元和通讯模块， 所述存储单元中存储有操作 系统以及CCD视觉检测系统， 所述处理单元运行CCD视觉检测系统时， 能够对图像进行处理 和计算。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115249758 A 3