(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211027502.4 (22)申请日 2022.08.25 (71)申请人 昆明理工大 学 地址 650000 云南省昆明市一 二一大街文 昌路68号 (72)发明人 郭涵　贾芸霏　唐明亮　张竣宣　 刘朝泽　高俊康　 (74)专利代理 机构 云南凌云律师事务所 5 3207 专利代理师 秦宝宏 (51)Int.Cl. H04N 5/225(2006.01) H04N 5/232(2006.01) G02B 26/10(2006.01) (54)发明名称 一种自动拍摄扫描电镜的方法 (57)摘要 本发明涉及一种自动拍摄扫描电镜的方法， 属于扫描电镜使用方法改进领域， 旨在通过扫描 电镜及计算机等设计的一种改进方法， 将传统扫 描电镜连接到计算机上， 通过计算机判断扫描电 镜拍摄的画面并进行保存， 首先对同一批样品设 置程序， 由工作人员提前对样品在不同倍数下调 整至最佳视角， 并且将焦距输入程序中， 在切换 不同倍数对样品进行拍摄时程序调整焦距对样 品进行拍摄， 在程序中输入希望能够拍到的样品 图片， 程序对 图片进行分辨， 在电镜视图中进行 寻找， 寻找到与输入图片中类似的图形自动进行 拍摄， 通过计算机自动比对代替了人工负荷， 大 大降低了人工量， 提高了 工作效率。 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 CN 115396579 A 2022.11.25 CN 115396579 A 1.一种自动拍摄扫描电镜的方法， 其特征在于： 由样品处理、 样品输入、 标准图片选择、 程序标定、 自动扫描、 样品比对、 数据存储几个步骤； 所述的样品处理包括： 取材、 清洗、 固 定、 脱水、 干燥、 导电处理几个步骤； 所述的样品输入为： 一次拍摄的同一批样品， 由工作人 员提前对样品在不同倍数下调整至最佳视角， 并且将焦距输入程序中， 在切换不同倍数对 样品进行拍摄时程序调整焦距对样品进行拍摄； 所述的标准图片选择为： 使用人员根据需 要对系统设置的标准图片进行选择， 该标准图片为类似能够拍到的样品图片； 所述的程序 标定为： 选择需要拍摄的倍数和标定方式， 标定形式分为： 点扫描、 线扫描、 面扫描， 程序自 动进行标定； 所述的自动扫描为： 扫描电镜根据选择好的拍摄倍数和标定方式进 行工作， 一 个拍摄倍数对应的不同标定方式扫描完成再进行下一个拍摄倍数的扫描， 直至所有选择好 的标定完成； 所述的样品比对为： 在扫描电镜执行选择好的标定并规划好扫描路径后， 在扫 描过程中画面与标准图片进行实时比对， 一旦发现与标准图片类似的画面即进行拍摄记 录， 所述的数据记录为对扫描电镜拍摄的照片进行储 存。 2.根据权利要求1所述的一种自动拍摄扫描电镜的方法， 其特征在于： 扫描电镜在需要 时外接计算机、 分析仪器； 辅助扫描电镜进行工作。 3.根据权利要求1所述的一种自动拍摄扫描电镜的方法， 其特征在于： 样品干燥主要 为： 空气干燥法， 将经过脱 水的样品， 让其暴露在空气中使脱 水剂逐渐挥发干燥， 简 便易行， 节省时间； 临界点干燥法， 利用物质在临界状态 时， 其表面张力等于零的特性， 使样品的液 体完全汽化， 并以气体方式排掉， 来达到完全干燥的目的， 避免表面张力的影响， 较好地保 存样品的微细结构， 较为方便， 时间较短； 冷冻干燥法， 将经过冷冻的样品置于高真空中， 通 过升华除去样品中的水分或脱水剂， 冷冻干燥的基础是冰从样品中升华， 即水分从固态直 接转化为气态， 不经过中间的液态， 不存在气相和液相之 间的表面张力对样品的作用， 从而 减轻在干燥过程中对样品的损伤， 根据要处 理的样品灵活进行干燥方法的选择。 4.根据权利要求1所述的一种自动拍摄扫描电镜的方法， 其特征在于： 样品经过脱水、 干燥处理后， 其表面不带电， 导电性能也差， 影响对图象的观察和拍照记录， 因此在观察之 前要进行导电处 理， 使样品表面 导电， 所述的导电方法有包括:金属镀膜法和组织 导电法。 5.根据权利要求1所述的一种自动拍摄扫描电镜的方法， 其特征在于： 还设置有数据 库， 所拍摄的照片自动保存， 可对标准图片进行补充。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115396579 A 2一种自动拍摄扫描电镜的方 法 技术领域 [0001]本发明涉及一种自动拍摄扫描电镜的方法， 属于扫描电镜使用方法改进领域。 背景技术 [0002]扫描电子显微镜(SEM)是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察 手段。 其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品， 通过光束与 物质间的相互作用， 来激发 各种物理信息， 对这些信息收集、 放大、 以达到1nm； 放大倍数可以达到30万倍及以上连续可 调； 并且景深大， 视野大， 成像立体效果好。 此外， 扫描电子显微镜和其他分析仪器相结合， 可以做到观察微观形貌的同时进 行物质微区成分分析。 扫描电子显微镜在岩 土、 石墨、 陶瓷 及纳米材料等的研究上有广泛应用。 但目前扫描电镜需要全程人工进 行操作， 费时费力， 十 分不便， 效率低下。 发明内容 [0003]本发明提供一种自动拍摄扫描电镜的方法， 其目的是设置一套便于扫描电镜使用 的方法， 控制扫描电镜 工作， 提高工作效率。 [0004]本发明采用的技术方案是： 一种自动拍摄扫描电镜的方法， 其特征在于： 由样品处 理、 样品输入、 标准图片选择、 程序标定、 自动扫描、 样品比对、 数据存 储几个步骤组成。 [0005]进一步的， 所述的样品处理包括： 取材、 清洗、 固定、 脱水、 干燥、 导电处理几个步 骤。 [0006]进一步的， 所述的样品输入为： 一次拍摄的同一批样品， 由工作人员提前对样品在 不同倍数下调整至最佳视角， 并且将焦距输入程序中， 在切换不同倍数对样品进行拍摄时 程序调整焦距对样品进行拍摄。 [0007]进一步的， 所述的标准图片选择为： 使用人员根据需要对系统设置 的标准图片进 行选择， 该 标准图片为类似能够拍到的样品图片。 [0008]进一步的， 所述的程序标定为： 选择需要拍摄 的倍数和标定方式， 标定形式分为： 点扫描、 线扫描、 面扫描， 程序自动进行 标定。 [0009]进一步的， 所述的自动扫描为： 扫描电镜根据选择好的拍摄倍数和标定方式进行 工作， 一个拍摄倍数对应的不同标定方式扫描完成再进行下一个拍摄倍数 的扫描， 直至所 有选择好的标定 完成。 [0010]进一步的， 所述的样品比对为： 在扫描电镜执行选择好的标定并规划好扫描路径 后， 在扫描过程中画面与标准图片进行实时比对， 一旦发现与标准图片类似的画面即进行 拍摄记录， 所述的数据记录为对扫描电镜拍摄的照片进行储 存。 [0011]进一步的， 扫描电镜在需要时外 接计算机、 分析仪器。 辅助扫描电镜进行工作。 [0012]进一步的， 样品干燥主 要为： 空气干燥法、 临界点干燥法、 冷冻干燥法。 [0013]进一步的， 所述的空气干燥法是将经过脱水的样品， 让其暴露在空气中使脱水剂 逐渐挥发干燥， 简便易行， 节省时间。说　明　书 1/3 页 3 CN 115396579 A 3