(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 2021234342 94.3 (22)申请日 2021.12.31 (73)专利权人 镇江哈工大高端 装备研究院 地址 212000 江苏省镇江市南 徐大道101号 (72)发明人 陈亮　王金涛　徐高昇　余佳欣　 张裕　 (74)专利代理 机构 北京哌智科创知识产权代理 事务所(普通 合伙) 11745 专利代理师 何春阳 (51)Int.Cl. B23K 26/382(2014.01) B23K 26/064(2014.01) B23K 26/046(2014.01) B23K 26/08(2014.01) B23K 26/70(2014.01)B23K 37/04(2006.01) (54)实用新型名称 一种自动定位激光钻孔装备 (57)摘要 本实用新型公开了一种自动定位激光钻孔 装备， 属于激光钻孔装备技术领域， 通过启动激 光器将激光发射然后激光通过光闸、 扩束镜、 45 ° 全反射镜、 聚焦镜组件、 内阀线孔和远心场镜发 射到晶圆上进行激光钻孔， 可通过启动垂直调节 组件带动远心场镜进行高度方向上的调节从而 进行调节激光聚焦点的大小并进行精确钻孔， 通 过调节光闸和扩束镜在扩束镜支撑架组件上的 位置也可调节 光闸和扩束镜与激光器的距离， 通 过启动水平方位调节驱动组件带动晶圆夹持组 件可进行水平方位上的调节， 从而实现对晶圆进 行水平方位的调节， 然后实现便于进行调节的功 能。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 216576121 U 2022.05.24 CN 216576121 U 1.一种自动定位激光钻孔装备， 其特征在于： 包括底座(1)， 所述底座(1)的顶部一侧安 装有侧支撑杆(2)， 且所述侧支撑杆(2)的顶部设有激光器(3)， 所述侧支撑杆(2)的外侧下 方靠近激光器(3)处安装有扩束镜支撑架组件， 所述扩束镜支撑架组件上并排设光闸(5)和 扩束镜(6)， 所述底座(1)的顶部另一侧设有水平方位调节驱动组件， 所述水平方位调节驱 动组件的内侧设有晶圆夹持组件， 所述底座(1)的顶部并位于水平方位调节驱动组件侧中 部安装有侧垂杆(9)， 所述侧垂杆(9)的侧顶部 设有45°全反射镜(8)， 所述侧垂杆(9)的侧部 并位于45 °全反射镜(8)的下方设有聚焦镜组件， 所述侧垂杆(9)的侧中部处安装有内阀线 孔(11)， 所述侧垂杆(9)的内侧下方设有垂直调节组件， 该垂 直调节组件的外侧设有可垂直 调节的远心场镜(18)。 2.根据权利要求1所述的一种自动定位激光钻孔装备， 其特征在于： 扩束镜支撑架 组件 包括支撑横杆(4)和支架环(7)， 所述侧支撑杆(2)的一侧顶部安装有支撑横杆(4)， 所述支 撑横杆(4)的顶部等间距安装有支 架环(7)， 且位于支 架环(7)的内侧设有内海绵层(16)。 3.根据权利要求2所述的一种自动定位激光钻孔装备， 其特征在于： 所述内海绵层(16) 的内侧放置有光闸(5)和扩束镜(6)。 4.根据权利要求3所述的一种自动定位激光钻孔装备， 其特征在于： 水平方位调节驱动 组件包括水平方位调节电机(26)、 水平调节螺杆(27)、 水平滑轨(15)、 水平电动伸缩杆 (25)、 端板(14)、 隔板(30)、 滑块(29)和U型水平滑动座(13)， 所述底座(1)的顶部设有水平 滑轨(15)， 所述底 座(1)顶部的一侧安装有端板(14)和水平方位调节电机(26)， 所述水平滑 轨(15)顶部的两端安装有滑 块(29)， 所述水平方位调节电机(26)的输出端安装有贯穿所述 滑块(29)的水平调节螺杆(27)， 所述水平滑轨(15)的顶部靠近滑块(29)处安装有隔板 (30)， 所述隔板(30)的内侧安装有水平电动伸缩杆(25)， 所述水平电动伸缩杆(25)的输出 端安装有可在所述水平滑轨(15)外侧滑动的U型水平滑动座(13)， 所述端板(14)的一侧设 有贯穿滑块(2 9)的滑杆。 5.根据权利要求4所述的一种自动定位激光钻孔装备， 其特征在于： 晶圆夹持组件包括 夹持弹簧(23)和L型侧架(22)， 所述U型水平滑动座(13)的内侧两端等间距设有夹持弹簧 (23)， 所述夹持弹簧(23)的另一端安装有L型侧架(22)， 所述L型侧架(22)的内底部放置有 晶圆(24)。 6.根据权利要求5所述的一种自动定位激光钻孔装备， 其特征在于： 所述 聚焦镜组件包 括夹持环(12)和聚焦镜(10)， 所述侧垂杆(9)的侧部并位于45 °全反射镜(8)的下方处通过 固定杆安装有夹持环(12)， 所述夹持环(12)的内侧设有聚焦镜(10)。 7.根据权利要求6所述的一种自动定位激光钻孔装备， 其特征在于： 垂直调节 组件包括 升降电机(19)、 侧顶板(17)、 升降螺杆(21)、 垂限位滑杆(20)和连接杆(28)， 所述侧垂杆(9) 的一侧中部安装有侧顶板(17)， 所述侧顶板(17)的顶中部安装有升降电机(19)， 所述升降 电机(19)的输出端贯穿侧顶板(17)安装有升降螺杆(21)， 所述侧顶板(17)的底部靠近升降 螺杆(21)处安装有垂限位滑杆(20)， 所述垂限位滑杆(20)和升降螺杆(21)的外侧套设有 连 接杆(28)， 所述连接杆(28)的另一端安装有远心场镜(18)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216576121 U 2一种自动定位激光钻孔 装备 技术领域 [0001]本实用新型涉及一种激光钻孔装备， 特别是涉及一种自动定位激光钻孔装备， 属 于激光钻孔装备技 术领域。 背景技术 [0002]激光打孔过程是激光和物质相互作用的热物理过程， 它是由激光光束特性(包括 激光的波长、 脉冲宽度、 光束发散角、 聚焦状态等)和物质的诸多热物理特性决定的。 [0003]现有技术中的激光钻孔装备其在进行聚焦调节的时候无法进行自动调节， 其次现 有技术中的激光钻孔装备对扩束镜 没有可调的支撑架不够便捷， 为此设计一种自动定位激 光钻孔装备来优化上述问题。 实用新型内容 [0004]本实用新型的主要目的是为了提供一种自动定位激光钻孔装备， 通过启动激光器 将激光发射然后激光通过光闸、 扩束镜、 45 °全反射镜、 聚焦镜组件、 内阀线孔和远心场镜发 射到晶圆上进 行激光钻孔， 可通过启动垂直调节组件带动远心场镜进 行高度方向上的调节 从而进行调节激光聚焦点的大小并进 行精确钻孔， 通过调节光闸和扩束镜在扩束镜支撑架 组件上的位置也可调节光闸和扩束镜与激光器的距离， 通过启动水平方位调节驱动组件带 动晶圆夹持组件可进行水平方位上 的调节， 从而实现对晶圆进行水平方位的调节， 然后实 现便于进行调节的功能。 [0005]本实用新型的目的可以通过采用如下技 术方案达到： [0006]一种自动定位激光钻孔装备， 包括底座， 所述底座的顶部一侧安装有侧支撑杆， 且 所述侧支撑杆的顶部设有激光器， 所述侧支撑杆的外侧下方靠近激光器处安装有扩束镜支 撑架组件， 所述扩束镜支撑架组件上并排设光闸和扩束镜， 所述底座的顶部另一侧设有水 平方位调节驱动组件， 所述水平方位调节驱动组件的内侧设有晶圆夹持组件， 所述底座的 顶部并位于水平方位调节驱动组件侧中部案子有侧垂杆， 所述侧垂杆的侧顶部设有45 °全 反射镜， 所述侧垂杆的侧部并位于45 °全反射镜的下方设有聚焦镜组件， 所述侧垂杆的侧中 部处安装有内阀线孔， 所述侧垂杆的内侧下方设有垂直调节组件， 该垂直调节组件的外侧 设有可垂直调节的远心场镜 。 [0007]优选的， 扩束镜支撑架组件包括支撑横杆和支架环， 所述侧支撑杆的一侧顶部安 装有支撑横杆， 所述支撑横杆的顶部等间距安装有支架环， 且位于支架环的内侧设有内海 绵层。 [0008]优选的， 所述内海绵层的内侧放置有光闸和扩束镜 。 [0009]优选的， 水平方位调节驱动组件包括水平方位调节电机、 水平调节螺杆、 水平滑 轨、 水平电动伸缩杆、 端板、 隔板、 滑块和U型水平滑动座， 所述底 座的顶部设有 水平滑轨， 所 述底座顶部的一侧安装有端板和水平方位调节电机， 所述水平滑轨顶部的两端安装有滑 块， 所述水平方位调节电机的输出端安装有贯穿所述滑块的水平调节螺杆， 所述水平滑轨说　明　书 1/4 页 3 CN 216576121 U 3