(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211244531.6 (22)申请日 2022.10.12 (71)申请人 合肥师范学院 地址 230601 安徽省合肥市经济技 术开发 区莲花路1688号 (72)发明人 沈永才　张洪明　 (74)专利代理 机构 合肥铭辉知识产权代理事务 所(普通合伙) 34212 专利代理师 黄钦花 (51)Int.Cl. G01J 3/02(2006.01) G01N 21/01(2006.01) G01N 21/33(2006.01) (54)发明名称 具有像素校正的真空紫外光谱仪的装置及 使用方法 (57)摘要 本发明公开了具有像素校正的真空紫外光 谱仪的装置及使用方法， 涉及紫外光谱仪像素校 正， 现提出如下方案， 包括壳体， 所述壳体的一侧 安装有检测台， 所述检测台的顶部安装有驱动机 构一， 所述驱动机构一上安装有压料机构， 所述 驱动机构一驱动压料机构纵向移动， 所述驱动机 构一上安装有清洁机构， 所述 驱动机构一驱动清 洁机构纵向移动， 所述壳体的顶部安装有驱动机 构二， 所述驱动机构的底部安装有校正机构； 本 发明通过电动调节光栅进行像素校正， 避免出现 检测异常的情况发生， 保持内部温度， 避免温度 导致的像素校正的情况， 减少矫正次数， 对检测 台进行自清洁， 避免污垢影响测试结果， 可根据 样本的高度自动对样本进行固定， 操作简单。 权利要求书2页 说明书4页 附图3页 CN 115541014 A 2022.12.30 CN 115541014 A 1.具有像素校正的真空紫外光谱仪的装置， 包括壳体 （1） ， 其特征在于， 所述壳体 （1） 的 一侧安装有检测台 （2） ， 所述检测台 （2） 的顶部安装有驱动机构一 （7） ， 所述驱动机构一 （7） 上安装有压料机构 （3） ， 所述驱动机构一 （7） 驱动压料机构 （3） 纵向移动， 所述驱动机构一 （7） 上安装有清洁机构 （4） ， 所述 驱动机构一 （7） 驱动清洁机构 （4） 纵向移动， 所述壳体 （1） 的 顶部安装有驱动机构二 （6） ， 所述 驱动机构 （6） 的底部安装有 校正机构 （8） ， 所述 驱动机构二 （6） 驱动校正机构 （8） 旋转， 所述壳体 （1） 的内壁 安装有反射机构 （5） 。 2.根据权利要求1所述的具有像素校正的真空紫外光谱仪的装置， 其特征在于， 所述驱 动机构一 （7） 包括与检测台 （2） 顶部固定连接的推杆电机 （73） ， 所述检测台 （2） 的顶部固定 有电机固定 板 （71） ， 所述电机固定 板 （71） 的内部固定有电机一 （72） 。 3.根据权利要求2所述的具有像素校正的真空紫外光谱仪的装置， 其特征在于， 所述压 料机构 （3） 包括与推杆电机 （73） 顶端固定连接的顶板 （31） ， 所述顶板的底部固定有压柱 （32） ， 所述固定 板 （31） 的内部固定有距离传感器 （3 3） 。 4.根据权利要求3所述的具有像素校正的真空紫外光谱仪的装置， 其特征在于， 所述清 洁机构 （4） 包括与电机一 （72） 输出端固定连接的螺杆 （41） ， 所述螺杆 （41） 的外部螺纹套设 有移动板 （44） ， 所述移动板 （44） 的底部固定有刮板 （45） ， 所述移动板 （44） 的底部固定有擦 板 （42） ， 所述擦板 （42） 的底部固定有清洁布， 所述壳体 （1） 的前侧固定有导向杆 （43） ， 所述 导向杆 （43） 套设在移动板 （4 4） 的内部 。 5.根据权利要求4所述的具有像素校正的真空紫外光谱仪的装置， 其特征在于， 所述驱 动机构二 （6） 包括壳体 （1） 顶部固定的电机支撑架 （61） ， 所述电机支撑架 （61） 的内部固定有 电机二 （62） 。 6.根据权利要求5所述的具有像素校正的真空紫外光谱仪的装置， 其特征在于， 所述校 正机构 （8） 包括与电机二 （62） 输出端固定连接的转轴 （63） ， 所述转轴 （63） 的外部固定有小 齿轮 （82） ， 所述壳体 （1） 底部内壁转动连接有转轴二 （84） ， 所述转轴二 （84） 的外部固定有大 齿轮 （83） ， 所述大齿轮 （83） 的一侧与小齿轮 （82） 相啮合， 所述转轴一 （81） 的外部固定有密 封轴承， 所述密封轴承固定在壳体 （1） 顶部， 所述 转轴二 （84） 的外 部固定有连接 板。 7.根据权利要求5所述的具有像素校正的真空紫外光谱仪的装置， 其特征在于， 所述反 射机构 （5） 包括贯穿开设于壳体 （1） 一侧的入射狭缝 （51） ， 所述壳体 （1） 的底部内壁安装有 平行光管 （52） ， 所述连接板的一侧固定有光栅 （53） ， 所述壳体 （1） 的底部内壁弧形阵列固定 有检测器组 （54） ， 所述壳体 （1） 的一侧连通有真空机 （55） ， 所述壳体 （1） 的一侧内部固定有 真空馈通 （58） ， 所述壳体 （1） 的一侧内部固定有恒温器 （56） ， 所述壳体 （1） 的一侧内部固定 有温度检测器 （57） ， 所述壳体 （1） 的一侧固定有控制面板 （59） ， 所述控制面板 （59） 均与推杆 电机 （73） 、 电机一 （72） 、 电机二 （62） 、 恒温器 （56） 、 真空机 （55） 、 温度检测器 （57） 和检测器组 （54） 通过电性连接 。 8.具有像素 校正的真空紫外光谱仪装置的使用方法， 其特 征在于， 包括以下步骤： S1、 首先对检测台 （2） 进行清理， 启动电机一 （72） 带动螺杆 （41） 转动使移动板 （44） 带动 刮板 （45） 、 擦板 （42） 和清洁布往前移动， 刮板 （45） 将检测台 （2） 顶部的污垢刮掉， 清洁布对 检测台 （2） 顶部擦拭清洁； S2、 将检测样本放在检测台 （2） 上， 启动推杆电机 （73） 带动顶板 （31） 、 压柱 （32） 和距离 传感器 （33） 往下移动， 距离传感器 （33） 检测与样本之间的距离发送给控制面板 （59） ， 当检权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115541014 A 2测到距离为零的时候之后样 本被固定， 推杆电机 （73） 停止移动， 启动真空机 （55） 对壳体 （1） 内部抽真空； S3、 通过控制面板 （59） 启动检测台 （2） ， 检测台 （2） 与样本之间产 生光源， 光源从入射狭 缝 （51） 进入， 光源经过平行光管 （52） 设在光栅 （53） 上， 光栅 （53） 将光源反射到检测器组 （54） 上， 检测器组 （54） 接收光源， 产生 光谱数据， 显示在控制面板 （59） 上； S4、 根据光谱数据通过控制面板 （59） 启动电机二 （62） 带动转轴一 （81） 、 小齿轮 （82） 、 大 齿轮 （83） 、 转轴二 （84） 、 连接 板和光栅 （53） 转动进行微调校正； S5、 微调结束之后得到最终结果； S6、 停止检测， 启动恒温器 （56） 和温度检测器 （57） ， 温度检测器 （57） 检测壳内的温度并 发送给控制面板 （59） ， 控制面板 （59） 启动恒温器 （56） 对壳体 （1） 恒温， 避免温度对光栅 （53） 造成影响， 避免下次使用再次校正。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115541014 A 3