(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 20221082742 2.0 (22)申请日 2022.07.13 (71)申请人 深圳格芯集成电路装备有限公司 地址 518000 广东省深圳市坪 山区龙田街 道竹坑社区翠景路33号格兰达装备产 业园二期厂房一层至三层 (72)发明人 林宜龙　刘飞　滕健　林清岚　 刘秋强　 (74)专利代理 机构 深圳高智量知识产权代理有 限公司 4 4851 专利代理师 姚启迪 (51)Int.Cl. G01N 21/01(2006.01) G01N 21/892(2006.01) (54)发明名称 嵌入式在线芯片光学检测机 (57)摘要 本发明提供了一种嵌入式在线芯片光学检 测机， 嵌入式在线芯片光学检测机包括安装座、 传输机构、 阻位机构以及检测机构； 传输机构设 置在安装座上， 传输机构一端形成用于引进物料 的进料口， 传输机构的另一端形成用于引出物料 的出料口， 且传输机构具有位于进料口和出料口 之间的检测工位； 阻位机构设置在安装座上， 阻 位机构具有阻挡状态和避让状态， 当阻位机构在 阻挡状态时， 阻位机构将物料限制在检测工位 上； 当阻位机构在避让状态时， 阻位机构释放物 料； 检测机构设置在安装座上， 且检测机构位于 检测工位的上方， 当阻位机构将物料限制在检测 工位上， 检测机构对芯片进行检测。 权利要求书3页 说明书11页 附图7页 CN 115184271 A 2022.10.14 CN 115184271 A 1.一种嵌入式在线芯片光学检测机， 其特 征在于， 包括： 安装座； 传输机构， 所述传输机构设置在所述安装座上， 所述传输机构一端形成用于引进物料 的进料口， 所述传输机构的另一端形成用于引出物料 的出料口， 且所述传输机构具有位于 所述进料口和所述出 料口之间的检测工位； 阻位机构， 所述阻位机构设置在所述安装座上， 所述阻位机构具有阻挡状态和避让状 态， 当所述阻位机构在所述阻挡状态时， 所述阻位机构将物料限制在所述检测工位上； 当所 述阻位机构在所述避让状态时， 所述阻位机构释放物料； 检测机构， 所述检测机构设置在所述安装座上， 且所述检测机构位于所述检测工位的 上方， 当所述阻位机构将物料限制在所述检测工位上， 所述检测机构对物料进行检测。 2.根据权利要求1所述的嵌入式在线芯片光学检测机， 其特征在于， 所述检测工位包括 第一检测工位； 所述阻位机构包括第 一阻位组件， 所述第 一阻位组件具有第 一阻挡状态和第 一避让状 态， 当所述第一阻位组件在所述第一阻挡状态时， 所述第一阻位组件将物料限制在所述第 一检测工位上； 当所述第一阻位组件在所述避让状态时， 所述第一阻位组件释放物料； 所述检测机构包括支架和相机组件， 所述支架设置在所述安装座上， 所述相机组件设 置在所述支 架上， 且所述相机组件位于所述第一检测工位的上 方。 3.根据权利要求2所述的嵌入式在线芯片光学检测机， 其特征在于， 所述检测工位还包 括位于所述第一检测工位上游的第二检测工位； 所述阻位机构还包括第 二阻位组件， 所述第 二阻位组件具有第 二阻挡状态和第 二避让 状态， 当所述第二阻位组件在所述第二阻挡状态时， 所述第二阻位组件将物料限制在所述 第二检测工位上； 当所述第二阻位组件在所述避让状态时， 所述第二阻位组件释放物料； 所述检测机构还包括设置在所述支架上的读码器， 且所述读码器位于所述第 二检测工 位的上方。 4.根据权利要求3所述的嵌入式在线芯片光学检测机， 其特征在于， 所述检测机构还包 括调节组件， 所述调节组件包括X轴调节件、 Y轴调节件、 第一Z轴调节件以及第二Z轴调节 件， 所述X轴调节件设置在所述支架上， 所述Y轴调节件设置在所述X轴调节件上并可沿X轴 移动， 所述第一Z轴调节件设置在所述Y轴调节件上并可沿Y轴移动， 所述第二Z轴调节件设 置在所述Y轴调节件上并可沿Y轴移动； 其中， 所述相机组件设置在所述第一Z轴调节件上并可沿Z轴移动， 所述读码器设置在 所述第二Z轴调节件上并可沿Z轴移动。 5.根据权利要求3所述的嵌入式在线芯片光学检测机， 其特征在于， 所述阻位机构还包 括均设置在所述安装座上的第一到位传感器和 第二到位传感器， 所述第一到位传感器用于 检测物料是否到达所述第一检测工位； 所述第二到位传感器用于检测物料是否到达所述第 二检测工位。 6.根据权利要求3所述的嵌入式在线芯片光学检测机， 其特征在于， 所述传输机构包括 第一板架、 第二板架、 第一侧传动带、 第二侧传动带以及 传动驱动组件； 所述第一板架和所述第 二板架相对 间隔设置在所述安装座上， 所述第 一侧传动带设置 在所述第一板架朝向所述第二板架的一侧， 所述第二侧传动带设置在所述第二板架朝向所权　利　要　求　书 1/3 页 2 CN 115184271 A 2述第一板架的一侧； 所述进 料口由所述第一板架的一端、 所述第一侧传动带的一端、 所述第 二侧传动带的一端以及所述第二板架的一端共同形成， 所述出料口由所述第一板架的另一 端、 所述第一侧传动带 的另一端、 所述第二侧传动带 的另一端以及所述第二板架的另一端 共同形成， 所述检测工位由所述第一侧传动带和所述第二侧传动带共同形成； 所述传动 驱 动组件设置在所述安装座上， 且所述传动 驱动组件的动力输出端与所述第一侧传动带、 所 述第二侧传动带 连接。 7.根据权利要求6所述的嵌入式在线芯片光学检测机， 其特征在于， 所述传输机构还包 括第一导轨、 第一滑块以及第一驱动件， 所述第一导轨 设置在所述安装座上， 所述第一滑 块 与所述第二板架固定连接， 且所述第一滑块与所述第一导轨滑动连接， 所述第一驱动件与 所述第二板架连接， 所述第一驱动件驱动所述第二板架朝向或背离所述第一板架运动。 8.根据权利要求7所述的嵌入式在线芯片光学检测机， 其特征在于， 所述传输机构还包 括设置在所述安装座上的限位传感器， 且所述限位传感器位于所述第二板架背离所述第一 板架的一侧， 所述限位传感器用于感应所述第二板架。 9.根据权利要求6所述的嵌入式在线芯片光学检测机， 其特征在于， 所述第 一侧传动带 包括第一传动带和第二传动带， 所述第二传动带 的尾端与第一传动带 的头端相邻接； 所述 第二侧传动带包括与所述第一传动带相对间隔设置的第三传动带和与所述第二传动带相 对间隔设置的第四传动带； 所述第一检测工位由所述第 一传动带和所述第 三传动带形成， 所述第 二检测工位由所 述第二传动带和所述第四传动带 形成； 传送驱动组件包括第 二驱动件和第 三驱动件， 所述第 二驱动件的动力 输出端与所述第 一传动带、 所述第三传动带连接， 所述第三驱动件的动力输出端与所述第二传动带、 所述第 四传动带 连接。 10.根据权利要求6所述的嵌入式在线芯片光学检测机， 其特征在于， 所述传输机构还 包括第一限位板和第二限位板， 所述第一限位板设置所述第一板架上， 且所述第一限位板 位于所述第一侧传动带 的上方； 所述第二限位板设置所述第二板架上， 且所述第二限位板 位于所述第二侧传动带的上 方。 11.根据权利要求10所述的嵌入式在线芯片光学检测机， 其特征在于， 所述嵌入式在线 芯片光学检测机还包括顶压机构， 所述顶压机构包括升降驱动组件和顶压板组件， 所述顶 压板组件位于所述第一检测工位的下方， 且所述顶压板组件与所述第一侧传动带、 所述第 二侧传动带错开设置， 所述升降驱动组件设置在所述安装座上， 所述升降驱动组件的动力 输出端与所述顶压板组件连接， 所述升降驱动组件驱动所述顶压板组件朝向或远离所述第 一限位板、 所述第二限位板运动。 12.根据权利要求11所述的嵌入式在线芯片光学检测机， 其特征在于， 所述第 一板架形 成有第一行程 开口， 所述第二板架形成有第二行程 开口； 所述顶压板组件包括第一顶压板和第二顶压板， 所述第一顶压板包括第一主体部、 第 一顶压部以及第一连接部， 所述第一主体部位于所述第一板架背离所述第二板架的一侧， 所述第一顶压部位于所述第一板架朝向所述第二板架的一侧， 所述第一连接部穿过所述第 一行程开口并连接在所述第一主体部与所述第一顶压部之 间； 所述第二顶压板包括第二主 体部、 第二顶压部以及第二连接部， 所述第二主体部位于所述第二板架背离所述第一板架权　利　要　求　书 2/3 页 3 CN 115184271 A 3