(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211062833.1 (22)申请日 2022.09.01 (71)申请人 上海晶盟 硅材料有限公司 地址 201707 上海市青浦区北青公路82 28 号二区48号 (72)发明人 吴勇　蔡爱军　顾广安　 (74)专利代理 机构 北京挺立专利事务所(普通 合伙) 11265 专利代理师 程武红 (51)Int.Cl. G01N 21/95(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)发明名称 晶圆包装的自动检测方法以及自动检测装 置 (57)摘要 本发明实施例公开了一种晶圆包装的自动 检测方法以及自动检测装置， 涉及图像处理技术 领域， 所述方法包括： 获取针对晶圆包装的图像 信息； 对所述图像信息进行处理， 获得处理后图 像； 对所述处理后图像进行晶圆放置状态识别， 获得状态识别结果； 基于所述状态识别结果判断 是否存在碎片风险； 基于判断结果生成对应的检 测结果。 通过采用图像识别的方式自动对晶圆包 装的碎片风险进行识别， 从而快速、 准确地确定 晶圆的碎片风险， 提高了对晶圆的检测 效率、 检 测精确性。 权利要求书2页 说明书7页 附图4页 CN 115326832 A 2022.11.11 CN 115326832 A 1.一种晶圆包 装的自动检测方法， 其特 征在于， 所述方法包括： 获取针对晶圆包 装的图像信息； 对所述图像信息进行处 理， 获得处 理后图像； 对所述处 理后图像进行晶圆放置状态 识别， 获得状态 识别结果； 基于所述状态 识别结果判断是否存在碎片风险； 基于判断结果 生成对应的检测结果。 2.根据权利要求1所述的方法， 其特 征在于， 所述获取针对晶圆包 装的图像信息， 包括： 获取所述晶圆包 装在第一亮度下的第一图像； 获取所述晶圆包 装在第二亮度下的第二图像； 将所述第一图像和所述第二图像作为针对晶圆包 装的图像信息 。 3.根据权利要求2所述的方法， 其特征在于， 所述对所述图像信息进行处理， 获得处理 后图像， 包括： 对所述第一图像和所述第 二图像执行去噪处理， 获得去噪后第 一图像和去噪后第 二图 像； 对所述去噪后第 一图像和所述去噪后第 二图像执行灰度处理， 获得第 一灰度图像和第 二灰度图像； 对所述第一灰度图像和所述第二灰度图像执 行第一融合操作， 生成第一融合后图像； 获取所述去噪后第一图像在预设颜色通道中的第一通道图像以及获取所述去噪后第 二图像在所述预设颜色通道中的第二 通道图像； 分别对所述第 一通道图像和实时第 二通道图像进行增强处理， 获得增强后第 一图像和 增强后第二图像； 对所述增强后第 一图像和所述增强后第 二图像执行第 二融合操作， 生成第 二融合后图 像； 基于所述第一融合后图像和所述第二融合后图像生成处 理后图像。 4.根据权利要求1所述的方法， 其特征在于， 所述对所述处理后图像进行晶圆放置状态 识别， 获得状态 识别结果， 包括： 对所述处 理后图像进行裂纹识别， 获得裂纹识别 信息； 基于所述裂纹识别 信息判断所述处 理后图像中的 晶圆是否存在裂纹； 若所述晶圆存在裂纹， 生成晶圆破裂的状态 识别结果； 若所述晶圆不存在裂纹， 对所述处 理后图像进行晶圆间距 识别， 获得间距 识别信息； 基于所述间距 识别信息判断所述晶圆是否存在偏放状况； 若所述晶圆存在偏放状况， 生成晶圆偏放的状态 识别结果； 若所述晶圆不存在偏放状况， 生成晶圆摆放 正常的状态 识别结果。 5.根据权利要求1所述的方法， 其特 征在于， 所述方法还 包括： 在确定存在碎片风险之后， 获取存在碎片风险的风险晶圆； 从所述处 理后图像中提取 所述风险晶圆预设范围的区域图像； 对所述区域图像进行异常 分析， 生成对应的异常风险因子； 建立所述异常风险因子和所述 区域图像之间的关联关系， 存储 并反馈所述区域图像和 所述异常风险因子 。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115326832 A 26.一种晶圆包 装的自动检测装置， 其特 征在于， 所述装置包括： 图像获取 单元， 用于获取针对晶圆包 装的图像信息； 处理单元， 用于对所述图像信息进行处 理， 获得处 理后图像； 识别单元， 用于对所述处 理后图像进行晶圆放置状态 识别， 获得状态 识别结果； 判断单元， 用于基于所述状态 识别结果判断是否存在碎片风险； 结果生成单元， 用于基于判断结果 生成对应的检测结果。 7.根据权利要求6所述的装置， 其特 征在于， 所述图像获取 单元包括： 第一图像获取模块， 用于获取 所述晶圆包 装在第一亮度下的第一图像； 第二图像获取模块， 用于获取 所述晶圆包 装在第二亮度下的第二图像； 图像确定模块， 用于将所述第一图像和所述第二图像作为针对晶圆包 装的图像信息 。 8.根据权利要求7 所述的装置， 其特 征在于， 所述处 理单元包括： 第一处理模块， 用于对所述第一图像和所述第二图像执行去噪处理， 获得去噪后第一 图像和去 噪后第二图像； 对所述去 噪后第一图像和所述去 噪后第二图像执行灰度 处理， 获 得第一灰度图像和 第二灰度图像； 对所述第一灰度图像和所述第二灰度图像执行第一融合 操作， 生成第一融合后图像； 第二处理模块， 用于获取所述去噪后第 一图像在预设颜色通道中的第 一通道图像以及 获取所述去噪后第二图像在所述预设颜色通道中的第二通道图像； 分别对 所述第一通道图 像和实时第二通道图像进行增强处理， 获得增强后第一图像和增强后第二图像； 对所述增 强后第一图像和所述增强后第二图像执 行第二融合操作， 生成第二融合后图像； 处理确认模块， 用于基于所述第一融合后图像和所述第二融合后图像生成处理后图 像。 9.根据权利要求6所述的装置， 其特 征在于， 所述识别单 元具体用于： 对所述处 理后图像进行裂纹识别， 获得裂纹识别 信息； 基于所述裂纹识别 信息判断所述处 理后图像中的 晶圆是否存在裂纹； 若所述晶圆存在裂纹， 生成晶圆破裂的状态 识别结果； 若所述晶圆不存在裂纹， 对所述处 理后图像进行晶圆间距 识别， 获得间距 识别信息； 基于所述间距 识别信息判断所述晶圆是否存在偏放状况； 若所述晶圆存在偏放状况， 生成晶圆偏放的状态 识别结果； 若所述晶圆不存在偏放状况， 生成晶圆摆放 正常的状态 识别结果。 10.根据权利要求6所述的装置， 其特征在于， 所述装置还包括定位单元， 所述定位单元 用于： 在确定存在碎片风险之后， 获取存在碎片风险的风险晶圆； 从所述处 理后图像中提取 所述风险晶圆预设范围的区域图像； 对所述区域图像进行异常 分析， 生成对应的异常风险因子； 建立所述异常风险因子和所述 区域图像之间的关联关系， 存储 并反馈所述区域图像和 所述异常风险因子 。 11.一种计算机可读存储介质， 其上存储有计算机程序， 其特征在于， 该程序被处理器 执行时实现权利要求1 ‑5中任一项权利要求所述的方法。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115326832 A 3