(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211307479.4 (22)申请日 2022.10.25 (71)申请人 长春奥普光电技 术股份有限公司 地址 130033 吉林省长 春市经济技 术开发 区营口路58 8号 (72)发明人 高劲松　 (74)专利代理 机构 长春中科长光知识产权代理 事务所(普通 合伙) 22218 专利代理师 高一明 (51)Int.Cl. G01N 15/06(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)发明名称 真空环境下的粉尘颗粒浓度检测装置 (57)摘要 本发明提供一种真空环境下的粉尘颗粒浓 度检测装置， 包括： 壳体， 在壳体内形成观测腔， 在壳体内分别固定安装有密封盖、 激光器、 扩束 系统、 光学镜头、 工业数字相机、 信号处理器和直 流电源； 密封盖用于打开或关闭观测腔； 激光器 正对密封盖， 用于为观测腔提供光源； 扩束系统， 用于对激光器发出的光束进行扩束， 使光束充满 观测腔； 光学镜头垂直于扩束系统， 用于收集观 测腔内的粉尘散射光的能量； 工业数字相机用于 将光学镜头收集的光能量转换为电信号； 信号处 理器用于对电动铰链和激光器进行控制， 以及对 工业数字相机转换的电信号进行处理； 直流电源 用于为所有电控 元件供电。 本发 明实现在真空环 境下对粉尘颗粒浓度的检测。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 115508261 A 2022.12.23 CN 115508261 A 1.一种真空环境下的粉尘颗粒浓度检测装置， 其特 征在于， 包括： 壳体， 在所述壳体内形成有观测腔； 密封盖， 其通过电动铰链铰接在所述壳体的开口处， 用于打开或关闭所述观测腔； 激光器， 固定安装在所述壳体内且正对所述密封 盖， 用于为所述观测腔提供光源； 扩束系统， 其固定安装在所述壳体内， 用于对所述激光器发出的光束进行扩束， 使光束 充满所述观测腔； 光学镜头， 其固定安装在所述壳体内且方向垂直于所述扩束系统， 用于收集所述观测 腔内的粉尘散射 光的能量； 工业数字相机， 其固定安装在所述壳体内， 用于将所述光学镜头收集的光能量转换为 电信号； 信号处理器， 其固定安装在所述壳体 内， 用于对所述电动 铰链和所述激光器进行控制， 以及对所述工业数字相机转换的电信号进行处 理； 直流电源， 其固定安装在所述壳体内， 用于为所述电动铰链、 所述激光器与所述信号处 理器进行 供电。 2.如权利要求1所述的真空环境下的粉尘颗粒浓度检测装置， 其特征在于， 所述密封盖 包括石英玻璃和铝制 镜框， 所述石英玻璃安装在所述铝制 镜框内， 所述铝制 镜框通过所述 电动铰链铰接在所述壳体的开口处， 在所述石英玻璃的两个表面镀有减反射膜。 3.如权利要求1所述的真空环境下的粉尘颗粒浓度检测装置， 其特征在于， 所述光学镜 头为远心镜 头。 4.如权利要求1所述的真空环境下的粉尘颗粒浓度检测装置， 其特征在于， 所述工业数 字相机为C MOS相机或C CD相机。 5.如权利要求1所述的真空环境下的粉尘颗粒浓度检测装置， 其特征在于， 所述激光器 为半导体连续激光器。 6.如权利要求1所述的真空环境下的粉尘颗粒浓度检测装置， 其特征在于， 所述壳体的 材质为铝。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115508261 A 2真空环境下的粉尘颗粒 浓度检测装 置 技术领域 [0001]本发明涉及 光电仪器技术领域， 特别涉及 一种真空环境下的粉尘颗粒浓度检测装 置。 背景技术 [0002]粉尘颗粒浓度的测量通常是通过测量通过狭窄气流腔的颗粒散射光强度的方法 进行， 这种 方法必须要求空气带动粉尘颗粒在狭窄的管壁内流动， 这就将检测环境限定在 了非真空环境， 而一些特殊使用环境下， 例如太空、 月球等没有大气的天体表面， 这种 方法 则无法使用， 因此本发明提出一种可用于真空环境的粉尘颗粒浓度检测装置 。 发明内容 [0003]本发明的目的是为了克服已有技术的缺陷， 提出一种真空环境下的粉尘颗粒浓度 检测装置， 实现在真空环境下对 粉尘颗粒浓度的检测。 [0004]为实现上述目的， 本发明采用以下 具体技术方案： [0005]本发明提供的真空环境下的粉尘颗粒浓度检测装置包括： 壳体， 在壳体内形成有 观测腔； 密封盖， 其通过电动铰链铰接在壳体的开口处， 用于 打开或关闭观测腔； 激光器， 固 定安装在壳体内且正对密封盖， 用于为观测腔提供光源； 扩束系统， 其固定安装在壳体内， 用于对激光器发出的光束进行扩束， 使光束充满观测腔； 光学镜头， 其固定安装在壳体内且 方向垂直于扩束系统， 用于收集观测腔内的粉尘散射光的能量； 工业数字相机， 其固定安装 在壳体内， 用于将光学镜头收集的光能量转换为电信号； 信号处理器， 其固定安装在壳体 内， 用于对电动铰链和激光器进 行控制， 以及 对工业数字相机转换的电信号进 行处理； 直流 电源， 其固定安装在壳体内， 用于为电动铰链、 激光器与信号处 理器进行 供电。 [0006]优选地， 密封盖包括石英玻璃和铝制镜框， 石英玻璃安装在铝制镜框内， 铝制镜框 通过电动铰链铰接在壳体的开口处， 在石英玻璃的两个表面镀有减反射膜。 [0007]优选地， 光学镜 头为远心镜 头。 [0008]优选地， 工业数字相机为C MOS相机或C CD相机。 [0009]优选地， 激光器为半导体连续激光器。 [0010]优选地， 壳体的材质为铝。 [0011]本发明提供的真空环境下的粉尘颗粒浓度检测装置能够在真空环境下对粉尘颗 粒的浓度进行检测， 扩大了检测环境， 适用性更广。 附图说明 [0012]图1是根据本发明实施例提供的真空环境下的粉尘颗粒浓度检测装置的结构示意 图； [0013]图2是根据本发明实施例提供的真空环境下的粉尘颗粒浓度检测装置的检测流程 示意图。说　明　书 1/3 页 3 CN 115508261 A 3