(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122708486.2 (22)申请日 2021.11.08 (73)专利权人 江苏中宇 光伏科技有限公司 地址 221611 江苏省徐州市沛县经济开发 区昆明路南侧 (72)发明人 常康杰　张奇　王雪　 (74)专利代理 机构 无锡三谷高智知识产权代理 事务所(普通 合伙) 32569 代理人 陈勤 (51)Int.Cl. F26B 5/16(2006.01) F26B 15/18(2006.01) F26B 21/00(2006.01) F26B 25/00(2006.01) F26B 25/02(2006.01) (54)实用新型名称 一种多晶硅片多次酸洗烘干处 理装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种多晶硅片多次酸洗 烘干处理装置， 包括一种多晶硅片多次酸洗烘干 处理装置， 装置本体包括烘干机台， 烘干机台上 设有用于对硅片进行传输的传输组件， 烘干机台 上设有用于对硅片表面进行烘干的烘干箱， 烘干 箱内部设有用于对硅片表面水分进行吸附的吸 水组件， 烘干箱内部靠近吸水 组件的位置设有用 于对硅片进行烘干的烘干组件， 传输组件能够对 水洗后的硅片进行传输， 硅片载板能够对硅片 进 行支撑， 烘干箱能够对硅片进行烘干， 吸水组件 能够对硅片表 面的水汽进行吸干， 烘干组件能够 对硅片表 面同时进行烘干， 旨在对硅片表面进行 多次干燥， 保证硅片的快速干燥， 提高了硅片的 干燥效率， 节约了成本 。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 216347393 U 2022.04.19 CN 216347393 U 1.一种多晶硅片多次酸洗烘干处理装置， 其特征在于： 装置本体包括烘干机台(1)， 烘 干机台(1)上设有用于对硅片进行传输的传输组件， 传输组件包括用于对硅片进行承载烘 干的硅片载板(2)， 烘干机台(1)上设有用于对硅片表面进行烘干的烘干箱， 烘干箱 内部设 有用于对硅片表面水分进行吸附的吸水组件， 吸水组件包括用于带动硅片升降的升降单 元， 烘干箱内部靠近吸水组件的位置设有用于对硅片进行烘干的烘干组件， 烘干组件包括 风热隔板(10)。 2.根据权利要求1所述的一种 多晶硅片多次酸洗烘干处理装置， 其特征在于:所述吸水 组件包括吸水滚轮(3)， 吸水滚轮(3)上包覆一层吸水棉， 烘干箱内部 设有移动槽， 移动槽内 部设有用于带动吸水滚轮(3)上下移动的移动块(4)， 移动块(4)滑移连接在移动槽内部， 移 动槽内部设有用于带动移动块(4)滑移的气缸， 移动块(4)上设有用于带动吸水滚轮(3)前 后移动的伸缩支杆(5)， 伸缩支杆(5)的数量为两根， 伸缩支杆(5)与移动块(4)通过螺栓连 接， 吸水滚轮(3)两侧分别和伸缩支杆(5)通过轴承连接 。 3.根据权利要求1所述的一种 多晶硅片多次酸洗烘干处理装置， 其特征在于:所述升降 单元包括用于将硅片进行抬起进行表面水分擦干的升降伸缩板(6)， 烘干箱相对的侧 壁上 设有升降槽(7)， 升降伸缩板(6)滑移连接在升降槽(7)内部， 升降槽(7)内部设有用于带动 升降伸缩板(6)进行升降的气缸， 硅片载板(2)内部设有方便升降伸缩板(6)对硅片进行升 降的伸缩台(8)。 4.根据权利要求1所述的一种 多晶硅片多次酸洗烘干处理装置， 其特征在于:所述烘干 组件包括用于硅片表面进行烘干的烘干风箱(9)， 烘干风箱(9)与外部鼓风机相连接， 风热 隔板(10)设置烘干风箱(9)靠近地面的一侧， 风热隔板(10)内部设有空腔， 风热隔板(10)的 顶部和底部设有导 风口， 空腔内部设有用于进行加热的加热丝 。 5.根据权利要求1所述的一种 多晶硅片多次酸洗烘干处理装置， 其特征在于:所述传输 组件包括皮带传输线(11)和用于带动皮带传输线(11)的滚轮(12)， 烘干机台(1)靠近滚轮 (12)的位置设有用于带动滚轮(12)进行转动的电机 。 6.根据权利要求1所述的一种 多晶硅片多次酸洗烘干处理装置， 其特征在于:所述烘干 箱侧壁上设有用于方便传输组件对硅片进 行传输的传输通口， 烘干箱靠近传输通口的位置 设有用于减少烘干箱内部 散热的挡板(13)， 挡板(13)与烘干箱铰接 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216347393 U 2一种多晶硅片多次酸洗烘干 处理装置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及太阳能硅片领域， 具体是一种多晶硅片多次酸洗烘干处 理装置。 背景技术 [0002]多晶硅片， 是单质硅的一种形态。 熔融的单质硅在过冷条件下凝固时， 硅原子以金 刚石晶格形态排列成许多晶核， 如这些 晶核长成晶面取向不同的晶粒， 则这些 晶粒结合起 来， 就结晶成多晶硅 。 [0003]利用价值来说， 从目前国际太阳电池的发展过程可以看出其发展趋势为单晶硅、 多晶硅、 带状硅、 薄膜材料， 多晶硅片分为电子级和太阳能级， 太阳能级是作为太阳能产业 链的原料， 用于铸锭或拉单晶硅棒， 在切成硅片， 生产成太阳能电池板 。 [0004]硅片在制绒时， 在硅片表面形成绒面， 以减少电池片的反射率， 绒面凹凸不平可以 增加二次反射， 改变光程及入射方式。 通常情况下用碱处理单晶硅， 可以得到金字塔状绒 面； 用酸处 理多晶硅， 可以得到虫孔状无规则绒 面。 [0005]多晶硅片酸洗后， 对硅片进行烘干处理， 烘干是指用某种方式去除溶剂保留固体 含量的工艺过程。 通常是指通入热 空气将物料中水分蒸发并带走的过程。 按照热传导、 热对 流、 热辐射 三种热传播的方式。 [0006]硅片烘干时需干燥无水渍， 硅片清洗烘干方法 需热板150～250C,1～2分钟脱水烘 焙， 烘干目的除去表面的污染物， 包括颗粒、 有机物、 工艺残余、 可动离子和除去水蒸气， 使 基底表面由亲 水性变为增水性。 [0007]目前， 硅片的烘干过程中， 使用热烘箱调至高温对硅片进行烘干， 但因为水洗时硅 片表面水汽较多， 需要长时间加热， 才能对硅片表面做到完全烘干， 本申请旨在 对硅片表 面 进行多次干燥， 保证硅片的快速 干燥， 提高了 硅片的干燥效率， 节约了成本 。 实用新型内容 [0008]本实用新型的目的在于提供一种多晶硅片多次酸洗烘干处理装置， 以解决现有技 术中的问题。 [0009]为实现上述目的， 本实用新型提供如下技 术方案： [0010]一种多晶硅片多次酸洗烘干处理装置， 装置本体包括烘干机台， 烘干机台上设有 用于对硅片进行传输的传输组件， 传输组件包括用于对硅片进行承载烘干的硅片载板， 烘 干机台上设有用于对硅片表面进 行烘干的烘干箱， 烘干箱内部 设有用于对硅片表面水分进 行吸附的吸水组件， 吸水组件包括用于带动硅片升降的升降单元， 烘干箱内部靠近吸水组 件的位置设有用于对硅片进行烘干的烘干组件， 烘干组件 包括风热隔板 。 [0011]通过采用上述技术方案： 传输组件能够对水洗后的硅片进行传输， 硅片载板能够 对硅片进 行支撑， 烘干箱能够 对硅片进 行烘干， 吸水组件能够 对硅片表面的水汽进 行吸干， 烘干组件能够对硅片表面同时进行烘干， 旨在对硅片表面进行多次干燥， 保证硅片的快速 干燥， 提高了 硅片的干燥效率， 节约了成本 。说　明　书 1/4 页 3 CN 216347393 U 3