ICS13.040.35 C 70 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T25915.5—2010/IS014644-5:2004 洁净室及相关受控环境第5部分：运行 Cleanrooms and associatedcontrolled environments- Part5:Operations （ISO14644-5:2004,IDT） 2011-01-14发布 2011-05-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局数码防伪发布中国国家标准化管理委员会 GB/T25915.5—2010/ISO14644-5:2004 目次前言引言 1 范围 2 规范性引用文件 3术语和定义 4技术要求附录A（资料性附录）运行体系附录B（资料性附录）洁净服 10 附录C（资料性附录）人员· 14 附录D（资料性附录）固定设备 17 附录E（资料性附录）材料和便携设备 20 附录F（资料性附录）洁净室的清洁 26 参考文献 34

GB-T 25915.5-2010 洁净室及相关受控环境第5部分：运行

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